交通大学电子信息与电气工程学院感应耦合式反应离子刻蚀机(2)招标公告

(略) (略) ，于 *** 在公告。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况: (略) 薄膜刻蚀的技术。干法刻蚀是把硅片表面暴露于气态中产生的等离子体，等离子体通过光刻胶中开出的窗口，与硅片发生物理或化学反应（或同时有这两种反应），从而去掉暴露的表面材料。刻蚀技术的出现是由于集成电路制作工艺的需要,其发展亦是伴随集成电路的不断微细化的和高集成化而完善更新。目前已成为生产中不可缺少的关键技术。此次采购的设备主要用于刻蚀以下几种化合物半导体：砷化镓（GaAs）、氮化镓（GaN）、磷化铟（InP）、碳化硅（SiC）等Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体材料以及Ⅱ-Ⅵ族化合物材料。
资金到位或资金来源落实情况:已到位
(略) 条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号: *** SH * A *
招标项目名称: (略) 电子信息 (略) 感应耦合式反应离子刻蚀机
项目实施地点:中国 (略) 市
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
*** SH * A *	感应耦合式反应离子刻蚀机	1台	静电吸盘或机械卡盘固定硅片，机 (略) 分不超过5mm

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）具有独立的法人资格，相应的经营范围；
2）投标人是专 (略) 需设备的制造商，或由制造商指定 * 个代理商作为本次投标的唯 * 授权代理；
3）投标人提供的投标机型应是原产地的全新产品；
4） (略) 投标电子交易平台上注册，网址：http://注册成功 (略) 站的验证；
5）不接受联合体投标；
6） (略) 文件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: ***
招标文件领购结束时间: ***
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点： (略) 市共和新路 * 号C座 * 室
招标文件售价:￥ * /$ *
其他说明:技术联系人：栾老师
电话： * - * - ***
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）: *** * : *
投标文件送达地点: (略) 市共和新路 * 号C座 * 室
开标地点: (略) 市共和新路 * 号C座 * 室
6、投标人在投标 (略) （https:/ *** ） (略) 投标电子交易平台（https://）完成注册及信息核验。评标结 (略) 和公示。
7、联系方式
招标人: (略)
地址: (略) 市 (略) 路 * 号
联系人:王老师
联系方式: * - * - ***
招标代理机构: (略) 有限公司
地址: (略) 市共和新路 * 号C座 * 室
联系人:林佳文
联系方式: * - * - *** 、 * - * - *** 、
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币): (略) (略) (略)
招标代理 (略) (美元): (略) (略) (略)
账号(人民币): ***
账号(美元): ***
其他:Swift BIC: MSBCCNBJ *

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