昌平区空分招标变更

...机1台曝光范围最大可支持6英寸；真空分辨率：≤1μm（光刻胶厚度1μm）；套刻精度≤1μm ；光强均匀度：优于±3％（6inch）；满足1-...

...机1台曝光范围最大可支持6英寸；真空分辨率：≤1μm（光刻胶厚度1μm）；套刻精度≤1μm ；光强均匀度：优于±3％（6inch）；满足1-...

...机1台曝光范围最大可支持6英寸；真空分辨率：≤1μm（光刻胶厚度1μm）；套刻精度≤1μm ；光强均匀度：优于±3％（6inch）；满足1-...

...机1台曝光范围最大可支持6英寸；真空分辨率：≤1μm（光刻胶厚度1μm）；套刻精度≤1μm ；光强均匀度：优于±3％（6inch）；满足1-...