中山大学2024年7月政府采购意向-中山大学天琴中心原子力显微镜采购项目详细情况显微镜-预算金额万元人民币

A*显微镜

原子力显微镜，数量1套，该设备用于：光学元件表面微观表面形貌特征的测量。技术要求：①高分辨测量头一套, 包含扫描器、内置辅助光学系统、激光探测单元与探针底座；XY方向不小于20μm × 20μm，Z方向不小于4μm；噪音水平＜小于0.05nm；侧视辅助光学系统配置五百万像素彩色相机，视场不小于3mm×3mm；②更换探针无需手动调节激光；③大理石机构样品台，样品台尺寸不小于380mm直径，最大测量样品厚度不低于100mm；样品台可以360度旋转，样品台最大承重50kg；④X轴自动移动范围不低于230mm，重复定位精度小于1.5μm；Z轴自动移动范围不小于50mm，重复定位精度小于1.5μm；⑤θ轴带动测量头旋转，方便测量曲面样品，自动移动范围不小于±45°，重复定位精度小于20"；⑥配置小样品台一个，方便测量100mm直径以内平面样品，样品高度30mm，方便摆放在大样品台上工作，测量头在小样品台上的系统噪声小于0.03nm。交付时间要求：12个月内；交付地点要求：中山大学·深圳光明校区工学园26-HB1F-02；售后服务要求（含培训） ：(1)免费整机保修2年，产品质量问题造成的故障需提供保修。(2)对设备管理人员和操作人员进行现场培训，包括了解设备结构、运行工作原理，掌握设备操作规程、设备保养方法、设备安装调试，掌握设备一般性故障的诊断、定位和排除方法。