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快速热处理系统（RTP）招标公告

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正文内容

项目名称:快速热处理系统（RTP）/硅片清洗腐蚀台日期：****年**月**日招标编号：****-************重庆招标采购（集团）有限责任公司受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标。现邀请合格投标人参加投标。*、招标产品的名称、数量及主要技术参数：招标设备名称及数量：快速热处理系统（RTP）*台主要技术要求：用于集成电路生产中的快速热处理工艺招标设备名称及数量：硅片清洗腐蚀台...

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