高分辨球差矫正透射电子显微镜招标公告



 
一、项目名称： 高分辨球差矫正透射电子显微镜

二、招标编号： S ***

三、招标人： (略) 国有资产与 (略)

地址： (略) 省 (略) 市东环路 50 号凌云楼 0904 室

邮编： *** 　　　　　　 传真： ***

联系人：罗老师　　　　　 电话： *** ， ***

电子邮箱： lrb998@ ***

技术联系人：赵老师 　 　　 电话： ***

电子邮箱： lzhao@ ***

四、招标货物品名、数量、主要性能参数基本要求

高分辨球差矫正透射电子显微镜　　 1 台

主要技术性能指标：

1. 电子光学系统

1.1 加速电压： 30kV – 300kV （ or 200kV ）；

1.2 合轴文件： 30kV ， 60kV ， 80kV ， 300kV （ or 200kV ）；

1.3 FEG ： Electron source with Monochromator 或 Cold FEG ；

1.4 加速电压稳定度：≤ 0.8 ppm/10min ；

1.5 物镜电流稳定度： < 0.2 ppm/min ；

1.6 束斑漂移 Maximum spot drift: ≤ 0.5nm/min ；

1.7 束流 / 束斑尺寸：≥ 2.5nA @ 1nm, ≥ 0.25nA @ 0.2nm (all @ 300 kV) ；

2. 分辨率

2.1TEM 信息分辨率：≤ * 00kV (or 200kV) ；≤ * 0kV ；

2.2 STEM 分辨率：≤ * 00kV (or 200 kV) ；

3. 物镜：物镜极靴间距 (Pole Piece Gap) ：≥ 2mm ；

4. 图像球差矫正器

5. CMOS 相机 (16M)

5.1 感应器：≥ 4096 × 4096 CMOS ；

5.2 高速拍照：≥ 25 fps ；

6. 能谱仪技术要求：高灵敏、无窗口 SSD 能谱探头技术；

7. EELS-GIF

7.1 一体化 EELS-GIF ；

7.2 GIF 合轴文件： 60kV ， 80kV ， 300kV （ or 200kV ）；

8. TEM/STEM 样品台： 5 轴 CompuStage 压电陶瓷样品台 , 可存储和复位 5 维 (x, y, z, α , β ) 坐标；

9. 最大 STEM 采集角： ~12 °（半角）；

9.1 束流漂移： ~1nm/min ；

9.2 在同一用户界面下，能谱、 EELS 可以和 STEM 配合工作，同时连续采集数据，完成线扫描、面扫描和定性 / 定量分析；

10. TEM/STEM 真空系统

10.1 样品室真空： < 2 × 10 -5 Pa ，电子枪真空： < 1 × 10 -6 Pa ；

10.2 完全无油真空系统；

11. 等离子清洗装置：

11.1 配备等离子清洗装置，用于清洁样品和样品杆；

11.2 配备样品杆真空存放装置，可以放置 4 个样品杆；

12. 远程控制软件和控制面板

在同一用户界面下，能谱、 EELS 可以和 STEM 配合工作，同时连续采集数据，完 成线扫描、面扫描和定性 / 定量分析；键盘，鼠标；图像显示： 28 ’高清 LCD 显示器 2 台；

13. 未来可升级至双球差校正透射电镜；

14. TEM 样品杆

14.1 低背景双倾样品杆；

14.2 低背景单倾样品杆；

14.3 高能见度、低背景双倾样品杆；

15. 聚焦离子束双束电子显微镜（ FIB-SEM ）性能指标

15.1 离子束系统：离子源种类：液态 Ga 离子源；离子源分辨率：≤ 5. * 0kV ；加速电压： 0.5kV - 30 kV ；束流强度： 0.6pA - 65nA (15 孔光阑条 ) ；离子源寿命：不低于 1000 小时；

15.2 辅助气体注入系统：拥有独立的分离式气体注入系统，可重新配置；具备金属沉积系统，可在离子束、电子 (略) Pt 、 C 等沉积；可增加至 4 种气体注入系统，拥有 10 种以上备选过程方案；每种气体配备独立的气体注入器，防止不同气体交叉污染；

15.3 电子束技术要求：电子枪类型：肖特基（ ZrO/W ）场发射灯丝；分辨率： ≤ 1.0 nm @ 15kV(SE) ；≤ 1.6 nm @ 1kV(SE) ；扫描透射分辨率： ~0.8nm @ 30kV （ STEM ）；样品加工后，能快速切换到电子束检查与成像；加速电压： 350V － 30KV ( 连续可调 ) ；着 * 能量： 20eV – 30ekV ；束流强度： 1pA – 400 nA ；电子枪寿命：保证使用 1 年；电子束减速单元；

15.4 样品室：配备一体化等离子清洗装置；尺寸（从左到右）：≥ 300mm ；≥ 10 个附件 / 探测器接口；电子束和离子束交叉点、分析工作距离： ~7mm ；

15.5 样品台：五轴马达驱动样品台；样品台 X 、 Y 方向移动范围不低于 110mm ， Z 方向移动范围不低于 65mm ；回复精度小于 2.0 微米 ( 在 0 度倾斜 ); 倾角范围包含 -15 至 90 度 ; 可绕 Z 轴旋转任意角度 (360 度 ) ；最大样品直径不小于 150mm ；

15.6 FIB/SEM 真空系统：完全无油真空系统：由机械泵、磁悬浮涡轮分子泵和离子泵构成。样品室真空度： <6.3 × 10-6mBar ( 连续 72 小时抽真空后 ) ；

15.7 探测器： Everhardt-Thornley 二次电子探测器；两个极靴内探测器 ( 低位探测器和高位探测器 ) ；可伸缩性 STEM ( 扫描透射 ) 探测器；环形定向背散射探测器；样品室红外 CCD 相机； Nav-Cam 大样品导航相机；

15.8 一体化能谱仪： SDD 探测器有限面积 30mm 2 ；

15.9 3D 断层扫描软件；

16. 电子束曝光 (EBL) 装置技术指标

16.1 NPGS v9.1 系统（包含 NPGS PCI516 板卡； (略) 格，制作法拉第杯用光阑， Design CAD 软件）或同等功能的系统； USD 开关盒； XY 输入适配器；皮安计；

16.2 冷却水系统：要求有空压机和冷却循环水系统，分别用于冷却 SEM (略) 件；

16.3 系统控制：基于 Windows 7 操作系统的 64 位图形用户界面，键盘，鼠标 ; 图像显示： 24 ’ LCD 显示器 2 台； WUXGA 1920 x 1200 ；驻留时间 0.025 到 25000 微秒 /pixel ；

16.3.1 (略) 理器 : 最高像素： 6144 x 4096 像素；

16.3.2 文件格式： TIFF (8, 16 or 24 位 ) ， BMP 或 JPEG 格式，单幅或 4 幅显示；

16.4 具备透射样品自动提出系统 -- 纳米机械手（ Easylift ），用于制备好透射电镜样品后取出 ( 保证更高成功率更高效率的样品转移 ) ；

16.4.1 漂移 <50 nm/min ；

16.4.2 最小步长 <50 nm ；

16.4.3 超过 5 微米位移时的 z 移动 < 500nm ；全方向重复精度 < 100 nm ；

17. 不间断稳压电源 UPS 两台：在突然断电的情况下，可以持续工作 2 小时以上；

18. 发货期：签订合同 6 个月内仪器设备 (略) 。

19. 技术服务

19.1 设备安装调试；

19.2 在仪器到货前须派遣工程师携带专用设备对用 (略) 地地面振动和 (略) 进行免费的检测；

19.3 仪 (略) 在地后，在接到用户通知 (略) 安装调试；仪器的安装调试应在两个月内完成；

19.4 技术培训： TEM 安装调试 (略) 为期 5 天的培训（地点），安装调试 (略) (略) 不少于 12 天的培训； FIB/SEM 安装调试 (略) (略) 为期 6 天的培训。培训内容包括仪器的技术原理、操作、 (略) 理、基本维护等；

19.5 质保期： TEM 提供至少 3 年质保， FIB-SEM 至少提供 1 年质保；应在 12 小时内对用户的服务要求做出响应，接到用户维修通知后 2 个工作日内必 (略) 。

五、评分标准：

本次招标采用综合评分法，总分为 100 分 , 具体内容如下：

1. 技术参数及整体综合性能（ 50 分）

1.1 技术参数（ 35 分）

投标人需提供反映该产品技术参数的测试报告或产品说明书等作为评标依据，否则视为偏离。

1.1.1 (略) 要求，或参数偏离超出用户教学、科研可接受范围的， (略) 评审可作为无效投标。

1.1.2 (略) 文件技术条款要求的（偏离）、配置不详、技术参数不清或缺漏项的，每处扣 3 分。

1.2 综合性能情况（ 15 分）

1.2.1 (略) 文件中技术条款要求情况（评委会认为超出指标有意义的）（ 8 分）。其中优于功 (略) 加 1 分。

1.2.2 所 (略) 反馈情况（ 7 分）。 (略) 投产品的品牌影响力、市场占有率（同行业为主）、现有用户的反馈情况等综合评定。

2. 价格分（ 35 分）

2.1 评标基准价：满足招标文件要求且投标价格最低的投标报价为评标基准价，评标基准价为满分 35 分。

2.2 其他投标供应商的投标报价得分按照下列公式计算：投标报价得分＝（评标基准价／投标报价）× 35 分。

3. 综合商务（ 15 分）

3.1 售后与培训服务（ 3 分）。根据投标人在 (略) 周边地 (略) 点及其数量、服务响应时间以及现有用户服务反馈情况等综合评定。

3.2 质保期（ 5 分）。 (略) 要求的得 1 分，每增加 1 年加 1 分。

3.3 投标人综合实力（ 3 分）。根据投标人的注册资本、公司成立年限与员工数、投标人的资质与证书等综合评定。

3.4 财务状况（ 1 分）。

3.5 标书质量（ 1 分）。根据投标文件的规范性、完整性等综合评定。

3.6 其他优惠措施（ 2 分）。 (略) 文件要求范围以外， (略) 认可的具体而实在的优惠措施等综合评定。

六、货物交货期、交货地点、付款方式、安装、调试、验收以及售后服务等相关商务要求，按照 《 (略) 采购仪器设备投标人须知》 第 21 条 (略) 。

七、招标文件价格： 人民币 800 元 （投标报名时交纳），售后不退。

八、投标报名截止时间： 2016 年 1 月 24 日 12 ： 00 。 投标报名要求：

（一）在报名截止时间前将投标确认函（格式见附件） (略) 人处；

（二） (略) 仪器设备供应商库 http:/ *** 注册的供应商，请在报名截止时间之前完成注册。

九、投标截止时间： 2016 年 1 月 31 日 13 ： 00 。各投标人在投标前，须认真阅读 《 (略) 采购仪器设备投标人须知》 (略) ，完全了 (略) 有条款及要求。并在截止时间之前将投标文件 一式 10 份 （其中正本 1 份，副本 9 份） (略) 。

十、开标时间： 2016 年 1 月 31 日 13 ： 00 。

十一、未尽事宜，按 《 (略) 采购仪器设备投标人须知》 中的 (略) 。

投标确认函.doc