合肥国家实验室激光直写系统采购项目单一来源采购公示

一、项目信息

采购人：合肥国家实验室

项目名称：合肥国家实验室激光直写系统采购项目

拟采购的货物或服务的说明：合肥国家实验室拟购置一套激光直写系统

拟采购的货物或服务的预算金额：*.00人民币

采用单一来源采购方式的原因及说明：硅MOS量子点的制备和大量工艺优化是课题组一项重要的研究内容，其中微纳米尺度的电极制备是核心工艺流程，电极制备使用电子束曝光设备进行，激光直写系统是专门为科研设计开发的多功能激光直写曝光系统，项目组需要大量测试工艺和制备多比特样品，电极数量很多，所以需要购置满足实验要求的激光直写系统。

本项目计划购置的激光直写系统主要用于硅基量子芯片中微米及亚微米尺寸图形的曝光。主要技术参数如下：（1）支持最大样品尺寸为230mmx230mmx15mm，最大曝光区域范围195mmx195mm；（2）具有多种曝光精度写头以适应不同图形曝光，包含0.4μm,0.6μm,1μm,2μm以及5μm共五种曝光写头，其中0.6μm写头的曝光速度达到17mm2/minute；（3）双光路设计，可实现365nm和405nm波长双光源自动切换，满足多样化光刻胶不同波长光源的最佳曝光精度要求；（4）激光干涉仪XY方向分辨率达到1nm，XY方向最小位移步长4nm；（5）具备制版功能；（6）支持255阶灰度曝光。经调研，目前只有DurhamMagnetoOpticsLtd产品是满足项目组需求的，QuantumDesignHongKon (略) 是该厂商的独家代理商，故申请单一来源采购。

二、拟定供应商信息

名称：Quantum Design Hong Kong Limited

地址：Room 1318-19, Hollywood Plaza, No.610, Nathan Road, Mongkok, kowloon, Hong Kong

三、公示期限

公示期限：5个工作日（2022年12月27日-2023年1月3日）；任何供应商、单位或个人对本采购项目有异议的，可以在公示期内以书面 (略) (略) 反映。

四、联系方式

1.采购人：合肥国家实验室

联 系 人：赵鑫

联系地址： (略) 蜀山区望江西路5099号

联系电话：0551-*

邮箱：*@*ttp://**

2.采购代理机构： (略) (略)

联 系 人：刘志凌、张文奇

联系地址： (略) 包河大道236号

联系电话：0551-*、*、*

五、附件

1.专家论证意见表