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浙江大学2021年4月政府采购意向-等离子体刻蚀机-本单位拟采购等离子体刻蚀机一台，拟采购的设备参数如下电感耦合

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等离子体刻蚀机
(略) 在采购意向： (略) * 年4月政府采购意向
采购单位： (略)
采购项目名称：等离子体刻蚀机
预算金额： * . *** 万元(人民币)
采购品目：
A ***
采购需求概况：
本单位拟采购等离子体刻蚀机 * 台，拟采购的设备参数如下：电感耦合等离子体工艺腔式；腔壁电加热；下电极具有冷却/加热功能；至少 * W RIE 微波电极，带自 (略) 络；至少1kW电感耦合等离子源，带自 (略) 络；真空计；自动压力空气阀门；防腐蚀分子泵；机械干泵；温度控制器；单基片转载腔室；转载腔室真空泵；8路工艺气体，带MFC流量控制。
预计采购时间： ***
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

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# 耦合# 电感# 参数

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