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浙江大学2021年4月政府采购意向-电子束曝光机-本单位拟采购电子束曝光机一台，主要功能是电子束直写，可以多层

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电子束曝光机
(略) 在采购意向： (略) * 年4月政府采购意向
采购单位： (略)
采购项目名称：电子束曝光机
预算金额： * . *** 万元(人民币)
采购品目：
A ***
采购需求概况：
本单位拟采购电子束曝光机 * 台，主要功能是电子束直写，可以多层套刻，也可与接触式光 (略) 混合光刻（Mix & Match），以便在大尺寸器件上制作微纳精细结构。其参数需满足加速电压： * kV，最小线宽： * nm ，套刻精度： ≦±9nm ，接缝精度: ≦±9nm ，扫描速度： * MHz。服务要求：1. (略) 人提供设备培训。2.售后响应及时
预计采购时间： ***
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

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# 电子# 曝光机

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