PDF格式
Excel格式
Word格式
| 台式 * 维原子层沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 台式 * 维原子层沉积系统 |
| 预算金额： | * . *** 万元(人民币) |
| 采购品目： | A *** 其他光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 1.主机为台式结构设计，小巧便捷，主机尺寸：≤ * cm(H)x * cm(W)x * cm(D)2. (略) 高度：≤ * cm3.最大基片尺寸：8英寸直径4.最大基片厚度： * mm5.侧开式样品腔门，方便换样，便于后续手套箱集成升级6.前驱体进气方式：侧向水平进气，有效减小垂直进气方式带来的气流扰动7.热壁式加热，最高温度： * ℃8.温度稳定性：±1℃9.前驱体主输运支管：两路，氧化剂和还原剂分开进气 * .液态前驱体源瓶位：6个 * .气体前驱体源路：2个 * .前驱体源瓶加热套：4个 * . Vapor push增压辅助蒸发气路：1个 * .薄膜均匀性：≥ * %（ * 氧化 * 铝薄膜） * .沉积效率：≤ * s/cycle |
| 预计采购时间： | *** |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
京公网安备 11010802042560号