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中国科学院微电子研究所2020年3至12月政府采购意向-套刻偏差量测仪

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套刻偏差量测仪
(略) 在采购意向： (略) (略) * 月政府采购意向
采购单位： (略) (略)
采购项目名称：套刻偏差量测仪
预算金额： * . *** 万元(人民币)
采购品目：
A *** -其他电子和通信测量仪器
采购需求概况：
套刻偏差量测仪,主要用于套刻偏差的量测以及修正数据反馈；共采购1台；需要满足以下指标：1. 量测重复性小于1nm2. 可对 (略) 分析3. 生产效率大于 * 片/小时
预计采购时间： ***
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

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