中山大学2022年12月政府采购意向-集成电路学院减薄机采购-A032103电子工业专用生产设备-预算金额270.000000万元(人民币)

A*电子工业专用生产设备

(略) 计划采购减薄机1台，主要技术指标：夹具可设定为多孔真空吸附面，兼容8寸及以下样品；配备研磨机，磨盘直径≥560mm，厚度监测精度≤1um;研磨盘转速可调，范围涵盖5-160rpm，工作站头转速可调，范围涵盖10-125rpm；独立的进料系统，进料≥4路，滴料速度20～500ml/min。交付地点：中山大学深圳校区理学园。售后服务要求:3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供包修、包换、包退服务。