南京航空航天大学理学院,所需光刻机项目进行招标,现邀请具备相应资质的单位前来投标。*项目概述光刻机项目及相关服务。*招标设备清单及技术要求*.*设备清单序号货物名称数量*曝光系统*套*对准系统(含对准工件台、对准显微镜)*套*控制系统(电控和气动系统)*套*匀胶和烘干系统*套*附加部件(无油真空泵、防震台)*套*其他必备附件*套*.*技术要求(*)曝光系统技术指标u汞灯功率:≥***W(直流)紫外...
南京航空航天大学理学院,所需光刻机项目进行招标,现邀请具备相应资质的单位前来投标。*项目概述光刻机项目及相关服务。*招标设备清单及技术要求*.*设备清单序号货物名称数量*曝光系统*套*对准系统(含对准工件台、对准显微镜)*套*控制系统(电控和气动系统)*套*匀胶和烘干系统*套*附加部件(无油真空泵、防震台)*套*其他必备附件*套*.*技术要求(*)曝光系统技术指标u汞灯功率:≥***W(直流)紫外...
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“销邦招标”