变更简要说明:第八章技术规格书中**条款由“主流量产***nm或***nm波长光刻机;分辨率要求至少能满足*.**μm”改为“主流量产***nm或***nm或***nm波长光刻机;分辨率要求至少能满足*.**μm”第六章投标资料表后附件评标办法中技术部分项下性能指标部分由“满分**分。投标货物指标为***nm机台(*.**μm分辨率)为**分,***nm机台(*.**μm分辨率)为**分。低于**...
变更简要说明:第八章技术规格书中**条款由“主流量产***nm或***nm波长光刻机;分辨率要求至少能满足*.**μm”改为“主流量产***nm或***nm或***nm波长光刻机;分辨率要求至少能满足*.**μm”第六章投标资料表后附件评标办法中技术部分项下性能指标部分由“满分**分。投标货物指标为***nm机台(*.**μm分辨率)为**分,***nm机台(*.**μm分辨率)为**分。低于**...
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“销邦招标”