项目概况
采购类型 | 采购 | ||
项目编号 | 中大招(货)[2024]084号 | ||
项目名称 | 中山大学 (略) 扫描电镜及电子束曝光系统采购项目 | ||
申购主题 | 扫描电子显微镜,电子束曝光系统 | ||
项目类型 | 货物采购 | 项目预算 | |
最高限价(元) | * | ||
采购开始时间 | 2024-06-07 17:27 | 采购结束时间 | 2024-06-13 12:00 |
采购单位 | 中山大学 | ||
经办人 | 王老师 | 经办人电话 | * |
期望收货时间 | 合同签订后90天交货 | ||
是否送货 | 是 | 送货地址 | (略) 光明区新湖街道中山大学理学园807 |
电子签章 | 本项目需要使用CA签字 CA操作手册下载 | ||
备注 | 1、国内供货请报含税人民币价;境外供货(进口)请报免税人民币价。 2、进口货物中如有国内供货部分,供应商在报价时应分别报价,境外供货部分、国内供货部分的币种选择见第1条,并分别签订进口货物采购合同和国内采购合同。 3、本项目学校不收取任何费用, 外贸代理费由供应商支付。4、本项目需要使用CA证书,请供应商根据指引(http://**)提前办理CA证书。 5、技术参数中如标注有“★”号的条款必须实质性响应,负偏离(不满足要求)将导致报价无效。 |
采购明细
1采购设备 | 扫描电子显微镜 |
数量 | 1台 |
参考品牌 |
技术要求
序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
---|---|---|---|---|
1 | 1 分辨率:二次电子探测器分辨率:≤3.0 nm (30 kV);≤8nm (3kV ), | 重要 | 否 | 否 |
2 | ▲2 放大倍数:最低倍率可达到2倍,最高倍率可达到1000,000。 | 非常重要 | 否 | 是 |
3 | ▲3 样品室真空度:高真空可达到9×10-3 Pa;带30Pa左右的低真空。涡轮分子泵抽速可达71 L/s,更换样品后抽真空时间:< 3分钟; | 非常重要 | 否 | 是 |
4 | 4. 电子光学系统:电子枪:钨灯丝,具有自动加热及对中的功能,可现实灯丝使用时间;聚光镜:具有自动可变焦功能;加速电压:200V-30kV,10V步进可调; | 重要 | 否 | 否 |
5 | ▲5 电子光学镜筒采用中间镜设计,全自动自动调节,无需机械对中装置,包 (略) 合轴,电子光学设置和校准,可以精确控制束流和束斑寸。 | 非常重要 | 否 | 是 |
6 | ▲6 样品室尺寸:内部直径不小于230 mm; 全自动五轴优中心台:具有全自动五轴马达驱动功能,样品台移动范围:X=80 mm,Y=60mm,Z=50 mm ;旋转:360度连续;倾斜:-80度到+80度;可使用样品台直径不小于45毫米,≤100mm。样品台具有报警与自动停止功能,具有样品位置感知功能。 | 非常重要 | 否 | 是 |
7 | 7. 探测及成像系统:具备高灵敏度二次电子探测器;存储图像像素最大支持* × *;扫描速度:从20 ns至10 ms/像素,可阶段或连续式的调整。具备用于观察样品室情况的红外摄像机; | 重要 | 否 | 否 |
8 | 8 电镜操作控制系统:鼠标、键盘、轨迹球; | 重要 | 否 | 否 |
9 | 9 电镜控制系统工作站:处理器 Intel Core i7-8700, 内存 RAM Hyper Fury 2x 8GB 2400MHz DDR4,硬盘 250 GB SSD M.2 及 2 TB S-ATA 7200 RPM, 显卡 Nvidia GTX 1060 3GB GDDR5 PCI-E x16, Windows 10 pro 64位系统 | 重要 | 否 | 否 |
10 | 10 电镜控制系统软件:完善的软件用于SEM控制,图像采集、存档、处理和分析;软件包含图像测量软件(用于测量样品的尺寸),图像获取软件(用于拍摄样品照片),Klayout画图软件(用于绘制曝光图形);软件更新免费。多用户多语言操作界面,具备中文操作系统。 | 重要 | 否 | 否 |
11 | 11 配置清单:(1)、扫描电镜主机 ;(2)、高性能计算机:处理器 Intel Core i7-8700, 内存 RAM Hyper Fury 2x 8GB 2400MHz DDR4,硬盘 250 GB SSD M.2 及 2 TB S-ATA 7200 RPM, 显卡 Nvidia GTX 1060 3GB GDDR5 PCI-E x16, Windows 10 pro 64位系统;(3)电镜系统控制软件 | 重要 | 否 | 否 |
12 | 12 售后及服务要求:整机保修1年,包括耗材钨灯丝替换;如遇故障等四小时内响应,3个工作日内到现场处理;培训要求:培训扫描电镜的理论知识,以及教会扫描电镜系统的操作流程,以及仪器维护。培训人数不少于5人,培训天数不少于2天。 | 重要 | 否 | 否 |
2采购设备 | 电子束曝光系统 |
数量 | 1套 |
参考品牌 |
技术要求
序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否星号条款 | 是否需要附件说明 |
---|---|---|---|---|
1 | 1、主机参数:1.配备静电束闸和电子束写入软件; | 重要 | 否 | 否 |
2 | ★2.必须配有Beam Blanker。预留与扫描电镜软件一体化的电子束曝光软件接口以实现电子束曝光功能; | 非常重要 | 是 | 是 |
3 | 3.电子探针束流:最大束流不小于2μA,并连续可调; | 重要 | 否 | 否 |
4 | 4.具备用于观察样品室情况的红外摄像机; | 重要 | 否 | 否 |
5 | 配置清单:(1)、电子束闸 ;(2)、电子束曝光组件 | 重要 | 否 | 否 |
资质要求
序号 | 要求名称 | 条件类型 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
---|---|---|---|---|
1 | 第1条资质参数 | 符合性参数 | 上传营业执照(副本原件扫描件) | 是 |
2 | 第2条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“廉洁承诺书”(需签字并盖公章) | 是 |
3 | 第3条资质参数 | 符合性参数 | 填写并要求上传“法定代表人授权书”(需按授权书要求签字并加盖公章) | 是 |
4 | 第4条资质参数 | 符合性参数 | 填写并按要求上传“供应商资格声明”(需签字并盖公章) | 是 |
商务要求
序号 | 要求名称 | 要求内容 | 是否需要附件说明 |
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1 | 合同履约 | 该项目必须严格按学校合同范本执行 下载地址:http://**:8089/attachment/template/ZSU148/htmb.zip。注意: (1)合同模板中付款方式适用分期结算/付款条款 其它付款方式选项不得选用; (2)本项目签署《中山大学国内采购合同》的需开具增值税专用发票,如无法开具,需在签署合同时提供合理说明,否则将可能会影响合同签署。 | 是 |
2 | 免费保修年限 | 3年 4年 5年 6年及以上 | 是 |
3 | 系统集成要求 | 本次采购需将扫描电镜系统与电子束曝光系统进行集成后进行统一采购 无法进行集成,无法进行本次采购。 | 否 |
4 | 产品销售渠道(要求上传“制造厂商出具的授权函”) | 厂家(生产商)直接销售(出具厂家声明格式自拟) 厂家(生产商)长期授权销售(授权书中连续有效期不少于一年) 其他授权销售方式 | 否 |