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等离子增强化学气相沉积实验系统招标公告

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正文内容

招标邀请书一、招标采购项目编号：JDCG****-***二、招标采购项目：物理学院仪器设备三、招标采购内容：（一）设备名称及数量：等离子增强化学气相沉积实验系统*套（二）详细技术指标、配置要求：PECVD设备的主要技术及配置要求:*．真空生长腔室Ф(***-***)×H(***-***)mm，*Cr**Ni*Ti优质不锈钢，箱式前开门结构；真空系统复合分子泵系统及合资机械泵及高真空阀门等系统组成，...

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