3μm碳基CMOS集成电路加工实验平台项目

建设地点： (略) 海淀区杏石口路80号益园文创基地B区1号楼105
公示时间：2023-10-17至2023-10-23
受理时间：2023-10-17
项目概况：本项 (略) 海淀区杏石口路80号益园文创基地B区1号楼105，项目总用地面积1400m2，总建筑面积1400m2，包括薄膜溶液制备区、薄膜制备区、预留区、光刻区、剥离区、公共区、蒸发溅射区、划片区、危废区、动力机房。进行3μm碳基CMOS集成电路研发，研发实验批次为50次/年，研发实验每批次的量为10片。
行政相对人名称：北京元芯碳基集 (略)
联系人：张乐孝
联系电话：*
审批部门：海淀区生态环境局
邮政编码：*
邮寄地址：海淀区东北旺南路29号蓝海中心B座602
传真电话：*
设定依据：1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。