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12寸先进传感器特色工艺制造中试平台上海市直辖市嘉定区新徕路168号

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建设项目环境影响登记表

填表日期：2023-11-08

12寸先进传感器特色工艺制造中试平台
(略) 嘉定区新徕路168号 3645.36
(略) 朱佳骐
51000 1183.2
2024-10-25
新建
一、建设内容： 芯物科技12寸中试线新增1台III类射线装置使用。 二、建设规模： 新增设备名称：全反射X射线荧光分析仪。 数量:1台。 规格型号：TXRF 310Fab。 生产厂家：日本RIGAKU 技术参数: ：最大管电压:35kv；最大管电流: 255mA。 使用位置: (略) 12寸中试线刻蚀二区。
环保措施:
环保措施:环保措施一、污染防治措施1、机房防护设计:射线装置满足使用设备的空间要求和辐射防护要求。2、警示标识：辐射工作场所设置了电离辐射标志并有中文说明，注明工作时严禁人员入内。3、通风装置:射线装置设置动力排风装置并保持良好的通风。4照射剂量控制:为放射工作人员配备监测仪器，包括:个人剂量计、辐射计量仪等。二、安全理措施1、指定专门管理人员负责辐射安全管理。2、规章制度:建立完善的操作规程、岗位职责、设备修维护制度等。3、制定辐射事故应急措施。4、为放射工作人员配备个人剂量计、建立个人剂量档案定期开展职业健康体检。5、工作人员参加辐射安全和防护知识考核，做到持证上岗。
, (略) ,嘉定区,上海

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