中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目2#第七批——晶圆测试机国际招标公告(1)0613-194022151258/02

 (略) (略) ，于 *** 在公告。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造（ (略) ）有限公司计划为中芯 (略) 特种晶圆工艺生产线项目购买 * 批工艺生产设备
资金到位或资金来源落实情况:资金已到位
(略) 条件的说明: (略) 条件
2、招标内容
招标项目编号: ***
招标项目名称:中芯 (略) 特种晶圆工艺生产线项目2#第 * 批——晶圆测试机
项目实施地点:中国 (略) 省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	晶圆清洗机	2台	1、实现 * 纳米级别清洗2、使用超纯 (略) 清洗以达到需要的要求
2	晶圆测试机	2台	实现机台良率测试
3	晶圆转移机	2台	实现IGBT/Mosfet wafer的转移
4	晶圆浓度测量、表面电荷分析仪超薄氧化物测量仪	2台	1 晶圆浓度测量/Wafer dose measurement 1台/1set 实现精确测量注入到wafer内的离子浓度2 表面电荷分析仪超薄氧化物测量仪/Surface Charge Analyzer Ultra Thin Oxide Measurement 1台/1set 进行表面电荷氧化膜的分析
5	RS * 全图电阻率测量	2台	实现全图电阻率测量Realization of full-map resistivity measurement均匀性好 (2. * Ω/sq )
6	蜻蜓系统	1台	结合 * 维和 * 维技术，以检测产量剥夺缺陷和测量功能
7	掩模板颗粒&薄膜异常检查仪	1台	实现掩模板移载检查清洁功能Mask Sorter, Inspection and clean
8	化学气相沉积	1台	实现片内高均匀性的Nitride薄膜沉积
9	各向同性干法蚀刻设备	1台	实现侧壁光滑，无损伤

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规 (略) 、 (略) 及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。 2）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: ***
招标文件领购结束时间: ***
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点： (略) 有限公司
招标文件售价:￥ * /$ *
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）: *** * : *
投标文件送达地点: (略) 市 (略) 路 * (略) * 楼
开标地点: (略) 市 (略) 路 * (略) * 楼
6、投标人在投标 (略) （http:/ *** ） (略) 投标电子交易平台（http://）完成注册及信息核验。评标结 (略) 和公示。
7、联系方式
招标人:中芯集成电路制造（ (略) ）有限公司
地址:中国 (略) (略) 区皋埠镇 (略) 路 * 号
联系人:韩倩倩
联系方式:：+ * - * - ***
招标代理机构: (略) 有限公司
地址: (略) 市 (略) 路 * 号
联系人:王鼎 王晟
联系方式: *** ***
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币):
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币):
账号(美元):