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中国科学院微电子研究所2020年3至12月政府采购意向-深紫外（DUV）涂胶显影机采购意向公告

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深紫外（DUV）涂胶显影机
(略) 在采购意向： (略) (略) * 月政府采购意向
采购单位： (略) (略)
采购项目名称：深紫外（DUV）涂胶显影机
预算金额： * . *** 万元(人民币)
采购品目：

A *** -其他电工、电子专用生产设备

采购需求概况 ：

DUV光刻机需要配套的DUV涂胶显影机，DUV光刻工艺的主要难点是需要精确控制曝光后的烘烤条件，同时防止环境中的氨含量对工艺造成影响，此外，涂胶显影机和光刻机需无缝衔接，保证工艺重复稳定

预计采购时间： ***
备注：


本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。



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# 显影机# 涂胶# 紫外

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