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离子束刻蚀系统招标公告

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正文内容

离子束刻蚀系统各公司、厂商：　　上海理工大学光电信息与计算机工程学院为满足学科建设和发展的需要，需采购离子束刻蚀系统一台，现在网上公开招标信息，欢迎各单位、厂商参与投标。　　一、设备主要功能　　离子束刻蚀系统用于高分辨率微/纳米结构刻蚀、离子束终极抛光、金属表面结构再造。　　二、离子束刻蚀系统技术指标　　*.有效束径：Фb≥***mm（在工件台面Ф***mm直径内离子束流密度变化ΔJb(RMS）≤...

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