| 序号 | 技术要求内容 | 评分等级 | 是否需要附件说明 | | 1 | 设备包含真空腔及相关阀门、管道、法兰、真空内部隔热件、以及真空腔外部高精度封装盒（见配置清单），所有配件的尺寸和公差严格按照设计图纸定制（详见附件图纸），并出具一份包含所有配件尺寸与公差的出厂检测报告、以及原材料的材质质量证明书（盖原材料制造商公章）； | 非常重要 | 是 |
| 2 | 配件的加工要求：外封装盒1套，包括上下两层，尺寸：200×200×200mm3；材料：钛合金TC4；内表面：镜面抛光+镀金； | 重要 | 否 |
| 3 | 配件的加工要求：方形真空腔1个，包括腔体和方形底部法兰，本体尺寸：170×175×96 mm3；材料：钛合金TC4；内外表面：镜面抛光+镀金； | 重要 | 否 |
| 4 | 配件的加工要求：CF法兰及真空管道1套、及一次性阀门3个，法兰规格：CF 16；材料：钛合金TC4；阀门：无氧铜铜管+钛合金CF16法兰； | 重要 | 否 |
| 5 | 配件的加工要求：屏蔽罩1个，尺寸：131×131×76.5mm3、厚3.5及4.5mm；材料：铍青铜QBe-1.9；内外表面：镜面抛光+镀金； | 重要 | 否 |
| 6 | 配件的加工要求：金属底板1个、及U型压板4个，底板尺寸：131×131×5mm3；底板及压板材料：超级殷钢4J32；表面处理：镜面抛光+镀金； | 重要 | 否 |
| 7 | 配件的加工要求： 隔热绝热垫1个，尺寸：131×131×10mm3；材料：PCTFE； | 重要 | 否 |
| 8 | 配件的加工要求：吸气剂法兰1套，规格：CF 25；材料：钛合金TC4； | 重要 | 否 |
| 9 | 配件的加工要求：方型密封圈3件，尺寸：157×152×2.2mm3、圈宽6mm；材料：无氧铜； | 重要 | 否 |
| 10 | 配件的加工要求： 钛合金螺栓和无氧铜密封圈1套，螺栓：M4、M5、M6各50个；密封圈：CF 16 六个 + CF 25 两个； | 重要 | 否 |
| 11 | 真空漏率< 6×10^(-12) Pa·m3/s ；出具真空漏率出厂测试报告一份； | 重要 | 是 |
| 12 | 真空度：在用户自己的真空泵实验条件下，压强达到 <1×10^(-5) Pa； | 非常重要 | 否 |
| 13 | 提供真空系统中各个配件的组装装配、提供真空腔的检漏服务和真空烘烤除气处理服务，并出具相应的照片和视频过程证明材料； | 重要 | 是 |
| 14 | 每套配置清单：1、钛合金封装盒1套；2、高真空方形真空腔1个；3、CF法兰、真空管道1套 + 一次性铜管阀门3个；4、铍青铜屏蔽罩1个；5、4J32超殷钢底板1个+U型压板4个；6、隔热绝缘垫1个；7、吸气剂法兰1套；8、无氧铜方型密封圈3件；9、钛合金螺栓和密封圈1套。 | 重要 | 否 |
| 15 | 免费保修时间： 两年原厂免费保修。保修范围：在保质期内因货物本身的质量问题发生故障，免费维修和更换零件。售后服务要求：提供技术人员上门安装与调试；货物验收合格后两年内，如真空密封圈、铜管等易耗的配件用完，提供免费的补充供应；24小时内电话响应，72小时内上门服务。培训要求： 开展至少1次现场培训，保证用户能熟练使用、掌握产品全部软、硬件功能，并能维护设备。 | 重要 | 否 |
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