2022年5月13日拟对建设项目环评文件作出审批意见的公告

序号

项目名称

建设地点

建设单位

建设项目概况

公众参与情况

相关环保措施承诺

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

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中欣晶圆大直径硅片外延项目

丽水南城七百秧区块D-28-5工业地块

浙江丽水中欣晶 (略)

浙江丽水中欣晶 (略) 成立于2021年11月2日，企业看好外延片的市场发展前景，通过公开竞价竞得丽水南城七百秧区块D-28-5工业地块，地块总占地面积 *** m2，拟在 (略) 房、仓库及附属设施，实施大直径硅片外延项目 。项目主要采用SC-1清洗、HF清洗、外延生长、检测的生产技术工艺，购置Wafer移载机、外延炉、洗净机、颗粒测试仪等国产、进口设备，项目建成后将形成年产120万片200mm半导体硅外延片和240万片300mm半导体硅外延片的生产能力

已进行公参

建设单位承诺将按照建设项目环境影响报告表及批复要求，在设计、施工、试生产及竣工验收过程中，严格落实各项环境保护对策措施，严格执行环保设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用的环保“三同时”制度。

废气：①酸性废气包含HF、硝酸，各工段废气经收集后通过支风管引至主风管，再通过主风管管道引至酸性废气洗涤塔（NaOH碱液喷淋）处理后通过15m高排气筒排放，项目拟设置2套酸性废气洗涤塔。②碱性废气为氨气，各工段废气经收集后通过支风管引至主风管，再通过主风管管道引至碱性废气洗涤塔（硫酸喷淋）处理后通过15m高排气筒排放，项目拟设置1套碱性废气洗涤塔；③企业在每 (略) 均 (略) 理器（localscrubber）对外 (略) 理， (略) 理设备为外延炉自带，且每台外延炉对 (略) 理器（localscrubber）采用两级水洗的方法对外 (略) 理，然后尾气通过支风管汇总，最终汇总有6个排气筒至15m以上排气筒高空排放；④天然气燃烧废气最终经8m以上烟囱高空放；⑤加强操作工人的自我防范、配备必要的劳保用品（口罩、眼镜等）以及按照规范操作等措施。⑥食堂 (略) 理后油烟至楼顶高空排放。

废水： 生活污水 (略) 理、 (略) 区 (略) (略) 理达标后纳入园区污水管网达到《电子工业水污染排放标准》（GB *** -2020）中表1间接排放限值纳工业区污水管网，进 (略) (略) 理。

针对项目运行产生的噪声，主要采取以下防治措施： (略) ，选用低噪声的设备和机械；在设备与基础之间安装减震材料，如橡胶、弹簧、减震垫等；风机、水泵设置隔声罩，风机设备进出口要安装消声器；定期维护设备，避免老化引起的噪声，必要时应及时更换。

项目一般废物为废渗透膜、生活垃圾收集 (略) (略) 置。废汞液、污泥、危废包装容器等由企业分类收集后，委 (略) (略) 置；外运采用专门密闭车辆，防止散落和流洒。对危险 (略) 理须严格按照国 (略) (略) 令《危险废物转移联单管理办法》执行。