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为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展政府采购意向公开工作的通知》（财库〔2020〕 (略) ）等有关规定，现将西 (略) (略) 2022年4月至5月采购意向公开如下：
| 序号 | 采购项目名称 | 采购需求概况 | 预算金额（元） | 预计采购时间（填写到月） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 西 (略) 高压中功率芯片测试与CP测试系统 | 西 (略) (略) 采购高压中功率芯片测试系统1套、CP测试系统1套、温控设备/上位机控制1套。主要用于半导体器件制造过程中的肖特基势垒、欧姆接触、金属互联方块电阻、钝化膜质量的电性能监控，及对成品片进行快速电性能扫描及表示失效器件，保证了器件制造的稳定可控、失效问题可追踪。 | *** | 2022年04月 | |
| 2 | 西 (略) 低频负载牵引系统 | 西 (略) (略) 采购低频负载牵引系统1套，主要用于测量出低频微波器件/功率芯片在不同源阻抗及负载阻抗下的各种工作参数，典型的被测件是功率晶体管、MMIC 及放大器。测量出在最大输出功率、最佳功率附加效率或最佳线性特性下的源端和负载端的最佳阻抗匹配参数，从而优化放大器的设计性能及提高设计效率。 | *** | 2022年04月 | |
| 3 | 西 (略) 接触式光刻机与激光直写系统 | 西 (略) (略) 采购接触式光刻机与激光直写系统1套，接触式光刻机与激光直写系统采用输出光谱和光强可调的激光光源，用于CD约为0.8um的碳化硅功率器件的图层光刻。其中，接触式光刻机采用传统掩膜版对准曝光方式；激光直写系统则采用无实体掩模版的在线图形编辑方式实现目标曝光。 | *** | 2022年04月 | |
| 4 | 西 (略) 微波网络分析仪采购 | 西 (略) (略) 采购微波网络分析仪1台，用于在宽频带内进行扫描测量以确定网络参量的综合性微波测量仪器，可直接测量有源或无源、可逆或不可逆的双口和单口网络的复数散射参数，并以扫频方式给出各散射参数的幅度、相位频率特性。 | *** | 2022年04月 | |
| 5 | (略) 设备二次配系统EPC项目 | 西 (略) (略) 对多套半导体工艺设备（黄光设备、清洗设备、刻蚀机、氧化炉、CVD、溅射机、退火炉等）水电气进行二次配系统工程的设计和安装；对多台设备（MOCVD、 (略) 理设备、烤盘炉和真空烘烤炉）的PCW冷却循环水系统工程的设计与安装，包括纯水系统、冷却循环水系统、配电系统、真空系统、压缩空气系统、热排系统、酸碱排系统以及有机排系统等。 | *** | 2022年04月 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
芜湖 (略)
京公网安备 11010802042560号