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一、合同编号：HZGH-2024-095
二、合同名称：原子层沉积系统采购项目(三次)
三、项目编号：HZGH-2024-095
四、项目名称：原子层沉积系统采购项目(三次)
五、合同主体
采购人((略)方)：西北大学
地址： (略) 229号
联系方式：029-(略)
供应商((略)方)：吉水 (略)
地址： (略) 吉水县电子商务 产业园（庐陵雅苑）主二楼
联系方式：029-(略)
六、合同主要信息
主要标的：
| 序号 | 名称 | 数量(单位) | 单价(元) | 总价(元) | 规格型号/服务要求 |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 原子层沉积系统 | 1(套) | ￥(略) | ￥(略) | 1、设备主机 1）适用于8英寸以及小尺寸样品薄膜沉积；沉积薄膜的均匀性不低于如下标准：在8英寸晶圆上沉积50nm薄膜（如氧化铝），以晶圆上5个均匀分散点（上、下、左、右、中心）进行椭偏仪测试膜厚，薄膜不均匀性≤2%。 2）控制方式：PLC+触摸屏； 3）多种沉积模式。 2、反应腔系统 1）反应腔材质为316L不锈钢，电解抛光； 2）样品台尺寸：标准8英寸腔体； 3）样品台加热温度最高可达400℃，控制精度为±1℃； 4）反应腔配备自动充气及过压保护功能。 3、前驱体输送系统 1）提供常温源，加热源和载气辅助源各前 (略) 实现（至少可实现 (略) ， (略) ，载气 (略) ）； 2）前驱 (略) 加热温度范围不低于RT-150℃； 3）配备各前驱体源ALD阀门，加热源配备耐高温阀，确保源瓶温度加热不小于RT-200℃范围； 4）管路及接头均采用316 EP级电解抛光不锈钢材料，所 (略) (略) 采用真空卡套及VCR连接； (略) 采用N2或者Ar气体，通过质量流量控制器控制，并实现清洗功能。 4、臭氧源系统 1）配备臭氧发生器、臭氧破坏器、MFC（量程0-200sccm）； 2）臭氧发生器产量可达20 g/h，浓度可达100 g/m3； 3）臭氧发生器采用风冷方式无需配备冷却水。 5、真空系统 1）真空泵采用机械泵；真空产生系统优于3Pa； 2）真空测量检测范围5×10-4~1000 mbar； 3）真空泵前热阱前端全程伴热温度范围优于RT-150℃，防止过量前驱体冷凝，热阱温度范围优于RT-300℃，控制精度±1℃。 6、控制系统 采用高稳定性PLC控制系统，实现软件全自动控制加热、流量等全部沉积过程，以及温度、压强等实时监控。可实现配方编辑、保存、读取等功能；所有ALD阀门具备自动排空功能，管线具备自动清洗功能等。当发生异常时触发报警并做出响应，报警日志可进行回看。 7、验收指标 在8英寸晶圆上沉积50nm薄膜（如氧化铝），以晶圆上5个均匀分散点（上、下、左、右、中心）进行椭偏仪测试膜厚，薄膜不均匀性≤2%。 8、服务 质保期1年，软件终身免费升级。 |
合同金额： (略)，大写(人民币)：(略)(略)(略)万(略)仟(略)佰元整
履约期限：2024年12月27日至2026年02月28日
履约地点：西北大学信息科 (略) 指定地点
采购方式：竞争性谈判
七、合同签订日期
2024年12月27日
八、合同公告日期
2024年12月27日
九、其他补充事宜
合同附件：
西北大学
2024年12月27日
京公网安备 11010802042560号