关于安徽芯泉半导体科技有限公司半导体设备及零部件精密加工、修复、清洗项目环境影响报告表的批复

五环许〔2024〕21号

关于安徽芯 (略) 半导体设备及零部件精密加工、修复、清洗项目

环境影响报告表的批复

安徽芯 (略) ：

你公司《半导体设备及零部件精密加工、修复、清洗项目环境影响报告表》（以下简称《报告表》，项目代码2401-*-04-01-*）收悉。我局经认真研究，现批复如下：

一、原则同意《报告表》结论。项目选址位于 (略) 五河县徐明高速以西、 (略) 南。项目总投资*万元，其中环保投资*元，环保投资占总投资比例7.875%。

主要建设内容：项目共建设3个生产车间及配套公辅工程构筑物，总建筑面积*余平方米，采购安装喷砂机、超声波清洗机、高温烘烤机、封装机、烤箱、真空打包机等生产及辅助设备，建设半导体零部件精密再生生产线。项目建成后，形成年*件精密部件再生修复的能力。项目经五河县发展和改革委员会备案。在严格落实《报告表》提出的各项环保措施的前提下，各类污染物可实现达标排放，主要污染物排放满足总量控制指标要求，我局原则同意《报告表》中所列建设项目的性质、规模、工艺、地点和拟采取的环境保护措施。

二、项目建设应重点做好以下工作：

（一）落实大气污染防治措施，（一）喷砂粉尘及熔射粉尘经密闭操作间负压收集后通过5套高效除尘系统处理后通过2根20m高的排气筒；液洗工序氨水处理槽产生的碱性废气氨，经液洗槽顶部密闭负压抽风装置收集后，通过2套二级酸雾喷淋塔处理后通过2根20m高的排气筒排放；液洗工序酸处理槽产生的酸性废气包括NOx、HCl、HF、硫酸雾，酸性废气经液洗槽顶部密闭负压抽风装置收集后，通过3套四级碱液喷淋塔处理通过3根20m高的排气筒排放；有机废气主要为有机溶剂浸泡槽/擦洗槽挥发出的废气，有机废气经1套“二级水喷淋+除湿+二级活性炭吸附浓缩+催化燃烧装置”处理后通过1根20m高的排气筒排放；危废库废气经负压密闭管道收集后，采用1套“二级水喷淋+除湿+二级活性炭吸附装置”处理后通过1根15m高的排气筒排放。外排废气按《报告表》中所列的各项标准和要求限值执行，并按相应规定规范设置排气筒。

（二）厂区实行雨污分流。本项目生产废水分类收集后分质进行处理，厂区污水处理站配套建设7套废水处理系统，分别为综合废水处理系统、含氟废水处理系统、含铜废水处理系统、含镍废水处理系统、有机（包括含氨废水）废水处理系统、含磷废水处理系统和含砷废水处理系统；酸碱废气喷淋塔废水收集后进入含氟废水处理系统，有机废气喷淋塔废水收集后进入有机废水处理系统处理；纯水制备浓水通过总排口直排；生活污水经化粪池（食堂废水设置隔油设施）处理后与经污水处理站处理后的生产废水经总排口排入五河县经济开发区污水处理厂，处理后的废水能够满足五河县经济开发区污水处理厂接管标准及《污水综合排放标准》（*）表4中三级标准，其中总砷、总镍因子执行《污水综合排放标准》（*）表1中第一类污染物最高允许排放限值并于车间或车间生产设施废水排放口进行定期采样监测。

(三)按固体废物“资源化、减量化、无害化”处置原则，落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施，防止二次污染。废砂料、废铝屑、非化学品包装材料和废反渗透膜等一般固废收集后外售物资回收部门综合利用；液洗废液（碱性废液、含氨废液、酸性废液、含砷废液、含镍废液、含铜废液、有机废液）、污水处理站污泥、废化学试剂包装桶、废槽渣、废活性炭等作为危废妥善收集后暂存于危废暂存间，定期交由有资质单位处置；生活垃圾由环卫部门统一清运。

(四)优化厂区布局，选用低噪声设备并加强维护管理。运营期厂界噪声排放要符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（*)3类标准要求。

（五）落实地下水、土壤污染防治措施。严格落实分区防渗措施，按照《报告表》中关于地下水、土壤分区防渗的设计要求，做好危险废物暂存间等重点防渗区域的运行管理工作，制定环境风险事故应急预案并完成报备工作。

（六）若建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者环境保护措施发生重大变动，你公司应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。项目环评文件自批准之日起，如超过5年方决定开工建设的，其环评文件应当报原审批部门重新审核。

（七）建立健全企业内部环境管理机制，制定完善的环保规章制度，建立完整的企业环境管理体系。提高管理运营水平，强化污染源和无组织排放管理，加强非正常工况的环境保护工作。制定自行监测方案，落实环境管理与监测计划，按规定开展自行监测和信息公开。项目实施后最终排入外环境的污染物总量不得超过核定的总量控制指标（COD：2.479t/a、*：0.124t/a；颗粒物：1.56t/a、VOCs：0.347t/a、NOx：4.465t/a）。废水含砷排放量不得超过0.1379kg/a。

三、建立健全污染物排放的主体责任机制。项目发生实际排污行为之前，你公司应当按照国家环境保护相关法律法规以及排污许可证申请与核发技术规范要求申请排污许可证，不得无证排污或不按证排污。

四、项目实施中应提高设计和管理水平，严格执行环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用的环境保护“三同时”制度。项目竣工后，你公司应按照《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》 (略) 生态环境行政主管部门规定的标准和程序，及时开展建设项目竣工环境保护验收工作，经验收合格后方可投入生产（运行）。

五、此审批意见仅说明该项目应符合的环境保护相关要求，还应依法取得其他相关部门的合法批件。

六、请五河县生态环境保护综合行政执法大队负责该项目的日常环境监管工作，确保项目按环评报告及批复要求设计、施工和生产。

（企业统一社会信用代码：*MAD4G4X37P）

2024年9月23日

抄送：五河县生态环境保护综合行政执法大队、 (略) 斯康 (略)