匀胶机招标公告

★1. 须有独立机柜，完善独立的排气，排液结构。

2. 支持衬底尺寸：2”, 3”，4”,6” 5mm*5mm ~20mm*20mm的碎片

★3. 匀胶腔体：包含可以和Wafer同步旋转的盖子

4 最快转速：10000rpm

5. 转速精度：1rpm

6. 最快加速度：7000rpm/s

7. 转速准确度：+/- 1rpm

8. Recipe管理：可编辑recipe，最多可编辑50步系统内可无限存储recipe

9. 滴胶手臂：需包含可编程胶臂，胶臂位置和高度可以通过程序控制，移动精度为0.01° (or 0.05 mm)

10. 找中心：Φ2” ~ Φ8”的标准圆 (略)

11. ERB 去除厚胶边：EBR针尖直径需<0.4mm，为EBR溶液配备专门的压力桶，压力桶的容量不小于5L，配有流量计。

12. 废液收集：含一个不小于10L的不锈钢废液桶废液桶满时将会自动报警。

13. 配有SOLVENT泄漏安全保护装置

14. 整合热板：系统自带可以用于后烘的热板

15. 热板范围：60 - 250°C

16. 热板精度：0.5°C

17. 烤胶方式：Wafer和热板不直接接触

18. 烘烤环境：氮气环境

★1. 需要在中国大 * 地区有完善的 (略) 和完税备件仓库。

★2. 相同类型的设备，在国内安装数量不得少于50台，需提供详细项目信息。 

3. 安装、调试：卖方 (略) 免费安装及调试（包括与其它设备或仪器的接口调试）。 (略) 提供的技术指标及标书要求验收设备。

4．操作人员培训：设备验收前卖方免 (略) 完成基本操作培训、工艺培训、简单故障排除培训、常规周期性维护培训。 (略) 有培训，必须派出具有相应专业资格和实际工作经验的 (略) 培训， (略) 使用的语言必须是中文，否则必须提供相应的翻译。所有培训费用由卖方承担。

5．设备验收： (略) ，并提供使用前的技术及操作；培训后，提交直接用户签字，确认合格的设备调试报告并确认后组织有关专家按 (略) 验收。

6. 厂 (略) 投产 (略) 生产的合格正品。所投软件必须是合法、 (略) 家软件且是当时最新版本；提供终身免费的维护和及时的免费升级服务。

7. 设备保修期不少于一年，质量保证期自验收合格之日算起（含当日）；在质量保证期内，如果产品发生故障，卖方负责调查故障原因并免费修复直至满足产品性能的要求，或者免费 (略) 分有缺陷的组件和材料。如产品经 (略) 件， (略) 件以维修后正常工作之日起（以维修记录日期为准）重新计算。质量保证期内出现故障导致仪器停用的时间，应从质量保证期中扣除。质量保证期内，停机待修时间不得超过一个月，若超过一个月，则保修期延长为待机时间的3倍。

★8. 在质保期内卖方需免费提供相应技术支持以及必要的备件对用户的 (略) 售后服务，确保该设备能够在用户实 (略) ；免费为用户提供系统维护的服务人员以及备件。

9 如设备遇质量问题或发生故障，电话服务响应时间不超过8小时；24小时内给予答复，72 (略) 进行维修服务。一般问题应在2天内、重大问题应在1周内解决或提出明确解决方案。质量保证期内发生的一切费用由卖方承担。