关于“上海积塔半导体有限公司特色工艺生产线新增工艺项目”环境影响报告表的审批意见

项目名称：上 (略) 特色工艺生产线新增工艺项目
建设地点：浦东区/ (略) 浦东新区云水路600号
建设单位：上 (略)
环境影响报告书（表）编制单位名称：上海格 (略)
公示时间：2023-08-24 00:00:00-2023-08-30 00:00:00
建设项目概况:本项目通过新增工艺设备，为企业现有项目一阶段工程各生产线增加新的加工工艺，具体包括：在现有项目一阶段的6万片／月0.11μm8英寸生产线原生产工艺基础上增加钴工艺，在0.5万片／月6英寸先导生产线、0.3万片／月12英寸先导生产线原生产工艺基础上增加镍工艺，并配套增加环保设施。此外，因企业生产使用大量超纯氮气，为保证企业氮气供应，企业拟增加空分制氮装置，代替原外购液氮供气的方式。
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