光学特征尺寸量测系统招标公告

 (略) (略) ，于 *** 在公告。 (略) 方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:长江 (略) 国际设备采购(第14批)
资金到位或资金来源落实情况:已落实
(略) 条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号: *** H ***
招标项目名称:长江 (略) 国际设备采购项目(第14批)
项目实施地点:中国 (略) 省
招标产品列表(主要设备):

序号	产品名称	数量	简要技术规格	备注
1	单片式轻聚合物化学清洗机	2	详见文件
2	单片式臭氧化学清洗机	2	详见文件
3	单片式钨制程晶背清洗机	2	详见文件
4	单片式钨制程化学清洗机	2	详见文件
5	晶圆单片式晶圆清洗机	2	详见文件
6	晶圆单片式晶圆清洗机(铜制程)	2	详见文件
7	晶圆表面沾污测量系统	2	详见文件
8	薄膜厚度光学量测系统	4	详见文件
9	半导体材料元素浓度测量系统	2	详见文件
10	薄膜电性分析和硅基底测量系统	2	详见文件
11	薄膜厚度和成分测量仪	2	详见文件
12	薄膜厚度和成分测量系统	2	详见文件
13	光学特征尺寸量测系统	4	详见文件
14	介质薄膜测量系统	2	详见文件
15	扫描电镜曝光对准测量系统	2	详见文件
16	金属薄膜测量系统	2	详见文件
17	晶圆质量测量系统	2	详见文件
18	扫描电镜关键尺寸测量系统	4	详见文件
19	扫描电镜关键尺寸测量系统	4	详见文件
20	扫描电镜曝光对准测量系统	2	详见文件
21	原子力显微镜系统	4	详见文件
22	浅槽隔离集成式膜厚光学关键尺寸量测仪	2	详见文件
23	层间介质层集成式膜厚光学关键尺寸量测仪	2	详见文件
24	氧化硅集成式膜厚光学关键尺寸量测仪	2	详见文件
25	多晶硅集成式膜厚光学关键尺寸量测仪	2	详见文件
26	前段钨集成式膜厚光学关键尺寸量测仪	2	详见文件
27	后段钨集成式膜厚光学关键尺寸量测仪	2	详见文件
28	铜集成式膜厚光学关键尺寸量测仪	2	详见文件
29	电子束缺陷扫描量测仪	1	详见文件
30	电子束缺陷扫描仪	2	详见文件
31	电子显微镜	2	详见文件
32	光学宏观缺陷扫描仪	3	详见文件
33	光学显微镜	3	详见文件
34	iline扫描光刻机2	1	详见文件
35	晶圆级器 (略) 测试机台	1	详见文件

3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:投标 (略) 商须具有同类设备的设计与制造的经验，所投设备为非试制品。 如由代理投标，须取得生产商唯一有效的授权书。投标人拟投设备应技术成熟，投标设备或同 (略) 业应有3台（含）以上/14包；5台（含）以上/09-12、21包的销售业绩；10台（含）以上/15-16、20包；15台（含）以上/01-06、22-28、30、34-35包的销售业绩；20台（含）以上/07-08、13、17-19包的销售业绩；30台（含）以上/29包；50台（含）以上/31包；600台（含）以上/32包；570台（含）以上/33包的销售业绩，的销售业绩，并提供用户清单。在经营过程中信誉良好，无违法经营和无 (略) 为。 以上资质文件应在规定的期限内真实有效， (略) 文件而予以否决。 (略) 文件而予以否决。 投标人必须在上注册，网址：http://
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间: ***
招标文件领购结束时间: ***
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点： (略) (略) 驻长江 (略) 办公室（XMC 550室）
招标文件售价:￥2000/$300
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）: *** 09:30
投标文件送达地点: (略) (略) 1001号会议室
开标地点: (略) (略) 1001号会议室
6、投标人在投标前需在上完成注册。评标结果将在公示。
7、联系方式
招标人:长江 (略)
地址: (略) 省 (略) 市 (略) 新技术开发区 (略) 四路18号
联系人:Maple
联系方式: ***
招标代理机构: (略) (略)
地址: (略) 市 (略) 区 (略) 西 (略) B座7-10楼
联系人:钱佩
联系方式: ***
8、汇款方式:
招标代理 (略) (人民币):
招标代理 (略) (美元):
账号(人民币):
账号(美元):