( 高温射频探针台和直流低噪声测试探针台 )需求公示
|
项目名称
|
高温射频探针台和直流低噪声测试探针台
|
是否预选项目
|
否
|
|
采购人名称
|
(略) (略)
|
采购方式
|
公开招标
|
|
财政预算限额（元）
|
***
|
|
项目背景
|
该项目为 (略) (略) (略) 超滑技术平台建设项目，批复文号 (略) 科技创新[ * 号，项目资金已到位，采购金额为 *** 元人民币， (略) ，采购资金从超滑设备平台项目支付。
|
|
投标人资质要求
|
1）具有独立法人资格（提供合法有效的营业执照原件扫描件，原件备查）；
2）本项目不接受联合体投标，不允许分包，接受投标人选用进口产品参与投标；
3）参与政府采购项目投标的供应商 (略) 贿犯罪记录（ (略) 定期向 (略) 申请对政府采购供应商库中注册有效 (略) 集中查询，投标文件中无需提供证明材料）；
4）（1.只能将国家或地方法律法规规定的资质要求作为投标人资质要求； 2.不得提出投标人须提交任何形式的产品授权书或代理证的要求； 3.不得违反《 (略) 经济特区政府采购条例实施细则》第 * 十 * 条的规定。）
|
|
货物清单
|
|
序号
|
采购计划编号
|
货物名称
|
数量
|
单位
|
备注
|
财政预算限额(元)
|
|
1
|
***
|
高温射频探针台和直流低噪声测试探针台
|
1.0
|
套
|
公开招标，已经完成采购进口产品专家论证意见。
|
*** .0
|
|
|
|
|
具体技术要求
|
序号
|
货物名称
|
招标技术要求
|
1
|
高温射频探针台
|
▲1. 用途及功能：8英寸手动射频探针台主要用于射频半导体晶圆在室温至高温 * ℃的测试。通过配置合适的定位器、探针、射频微波校准软件等以及无缝搭载相关的射频测量仪表可以完成晶圆、碎片以及单粒Die在DC- * GHz频率范围在室温至高温 * ℃环境下的测量表征。将来可以通过升级组件来可实现 * GHz及以上毫米波、太赫兹频率范围内的测试、有源功率射频器件的负载-牵引Load-Pull等测试。
|
2．探针台应满足8英寸半导体射频器件测试，兼容6英寸、4英寸及单粒芯片的测试。
|
▲3. 探针台要求具有DC- * GHz的测试能力，通过升级配置套件包可以完成 * G及以上毫米波、太赫兹频率范围内的测试以及有源功率射频器件的负载-牵引测试。
|
▲4. 探针台要求具有良好的对电磁信号、可见光、噪声等屏蔽能力，保证整个晶圆免受干扰以保障测量的正确性，需配置微暗室，要求指标：EMI屏蔽： * dB （0.5- * GHz）, 系统交流噪声： * mVp-p( 1GHz),背景频谱噪声： - * dBVrms/rtHz( 1MHz),光屏蔽： * dB。
|
5．探针台的台板要求有足够大的尺寸且灵活配置，方便升级。可以容纳4支RF探针座或者8支直流探针座以满足多端口芯片的测量应用。
|
▲6. 为了保障射频测量的准确性和测试效率，要求下针的稳定和精确，要求探针座平板具有高可靠、高精度的接触/分离功能，行程 5mm，且重复性 3um来保证测试的精确性。
|
▲7. 配置高温载物台及温度控制系统，温度范围： * ℃～ * ℃，温度分辨率0.1℃，温度均匀性： ±0.5℃@ * ℃, ±0. * ℃@ * ℃, ±1.5℃ @ * ℃；升降温速率： * ℃～ * ℃ * 分钟。
|
▲8. 载物台 (略) 程 * mm x * mm，分辨率 5mm/turn；载物台Theta角调节范围： ±5 ，分辨率0.8 /turn。载物台的X、Y轴移动各自带有锁止功能，保障扎针状态时锁定。
|
▲9. 载物台击穿电压 * V，隔离电阻 1* * 。
|
* . 探针台装卸晶圆必须保障十分方便和可靠。要求载物台具有锁止功能，方便测量时装载和取出晶圆。
|
▲ * . 卡盘直径 * mm，带有2个热隔离的辅助陶瓷卡盘，辅助载物台尺寸： * .2* * .1mm， * * * mm，用于精确校准和测试；
|
▲ * . 采用全数字图像电子数码显微镜，数字变焦, * %视场范围， (略) 命LED照明，内置智能镜头，CCD数量不少于2个，可以实现亚微米聚焦，显示晶圆Die不同的图像细节，保障小尺寸Pad器件在高温下稳定可靠性下针。
|
* . 显微镜支 (略) 程： * * * mm，分辨率： 5mm/转， (略) 程 4英寸，Z轴重复性： 1um
|
▲ * . 配置射频探针座（东西南北 * 个方向）4只，尺寸 * * * mm， (略) 程 * .5mm* * .5mm* * .5mm,精度<1um
|
▲ * . 配置射频测试探针4只，探针频段范围：DC- * GHz，支持最小可测量焊盘尺寸 * um* * um。温度范围- * ℃～ * ℃。探针插入损耗 0.7dB,承载电流在 * mA，特殊需要可以达到2A。 (略) 商具有提供差分探针及高温 * ℃探针的能力，并提供相关证明材料。
|
▲ * . 配置4条长度 * 英寸DC～ * GHz测试电缆。
|
▲ * . 配置射频校准软件，用于DC- * GHz以及更高频率范围的晶圆级探针的校准，必须满足4端口器件测试的校准。
|
* . 配置满足射频探针测量的相关校准片，同时需要配置接触基片、探针刷、清洁基片；
|
* . 配置2. * mm转2.4mm转接头4只；
|
* . 要求探针台探针台主机、探针、软件为同 * 品牌产品，并具备升级 * GHz以上频段的测试能力，并提供相关案 (略) 资料等证明材料。
|
|
|
▲ * . 系统配置气浮隔振平台（带空压机）、真空泵及紧固方案保证扎针的稳定性。要求隔振平台尺寸 * mm* * mm,承重 * Kg,垂直频率1.8Hz.
|
|
|
商务需求
|
说明：
1. （ * ）免费保修期内售后服务要求 部分，请详细列明免费保修期内的售后服务要求，内容包括但不限于免费保修期限、售后服务人员配备、技术培训方案、质量保证、违约承诺、维修响应及故障解决时间、方案等。
2. （ * ）免费保修期外售后服务要求 部分，请详细列明免费保修期外的售后服务要求，内容包括但不限于零配件的优惠率、维修响应及故障解决时间、方案、提供的服务等。
3. （ * ）其他商务要求 部分，如有补充，请详细列明。
4. 可在重点条款前标 ▲ 。（重点条款偏离扣分较重，但不废标）
|
序号
|
目录
|
商务需求
|
（ * ）免费保修期内售后服务要求
|
1
|
维修及维护服务
|
1.1▲各投标人应在投标文件中列明各主机、配件和易耗品的保修期限, 并承诺提供整机免费保修期 * 年，终身维修。保修期内,年度定期预防性维护保养次数应不少于 两 次。保修期内免费更换零配件、免工时费。设备在保修 (略) 进行维修， (略) 维修报告。
|
1.2▲由设备制造商提供售后服务， 4 小时内响应， * 小时维修到位（不可抗力情况除外）。消耗品和零配件供应及时，特殊情况下可提供备用方案。 (略) 省内有相应的维修机构，并出具证明文件。
|
1.3投标人负责货物的终身维修，保证 * 年以上供应维修配件，如如果因机器和配件停产造成设备无法维修者（维修 (略) 理条款内容），必须无条件免费更换整机保证完好使用。
|
1.4免 (略) 及软件升级，提供产品终身技术服务。
|
1.5提 (略) 签订的售后服务协议书。
|
1.6 确保在指定实验室安装后设备性能达标。实验室位于 (略) 市坪山区国富光金大厦 * 层。中标单位需确保其设备在该环境中能够正常使用。建议对隔振等环境因素有 (略) (略) 了解测试，并提供自己的解决方案。
|
2
|
质量保证
|
2.1在保修期内，保修期内因质量问题停机不超过2次,因故障总停机时间不超过1个月。否则延长质保期或更换新机。
|
2.2保修期到期前 * 个月内投标人需 (略) 状态评估报告及过保后设备维护方案，保证提供 (略) 技术支持服务和联系方式。
|
（ * ）免费保修期外售后服务要求
|
1
|
维修零配件、消耗品和延续保修合同的报价
|
1.1▲由设备制造商提供售后服务， 4 小时内响应， * 小时维修到位（不可抗力情况除外）。消耗品和零配件供应及时，特殊情况下需提供备用机或其他临时解决方案。
|
1.2保修期满后，投标人应以优惠价供应维修零配件、消耗品和延续保修合同。价格最高的前5项零配件、消耗品和延续保修合同的报价明细必须填写于《零配件、消耗品和延续保修合同报价明清单》中。
|
1.3采购人可与投标人 (略) 谈判，但优惠价不得高于投标人在投标文件的《零配件、消耗品和延续保修合同报价明清单》中承诺的维修零配件、消耗品和延续保修合同的报价。
|
1.4设备制造商维修的货物经采购人验收合格，且设备制造商提供维修专用发票后，采购人支付维修费用。
|
1.5免 (略) 及软件升级，提供产品终身技术服务。
|
（ * ）其他商务要求
|
1
|
交货要求
|
1.1投标人在签订合同之日起 * 天内备货完成，[交货时间双方合同中商定]
|
1.2投标人应提供货物的技术文件，包括但不限于设备配置清单、产品说明书、图纸、操作手册、维护手册（含维修密码及接口数据）、质量保证文件、服务指南等，所有外文资料须提供中文译本。文件应随货物 * 并交付至采购人指定地点。
|
1.3提供的货物必须为全新、经检验合格的产品。产品如需要计量检定的应提供相 (略) 门出具的合法检定报告。
|
1.4投标产品必 (略) 生产产品。
|
1.5如为进口产品，必须具有报关证明文件、原产地证明和商检合格证明文件，必须提供原产国相关进口资料； (略) 、贴牌及非正当进货渠道产品。
|
2
|
运输、安装和验收
|
2.1投标人负责将货物安全无损运抵采购人指定地点( (略) 市坪山区国富黄金大厦4层),并承担设备的包装、运输、保险、装卸、安装调试、培训、商检及计量检测、关税、增值税和进口代理等费用。机器安装调试完毕，采购人正式投入使用 两周 后，无故障方签署验收报告，
保修期自 验收培训完成 起开始计算。
|
2.2采购人有权检验或测试货物，以确认货物是否符合合同规格的要求，并且不承担额外的费用。 (略) 交货物与 (略) 承诺的不符或存在质量、技术缺陷等,采购人可以拒绝接收该货物,投标人应在
* 天内采取补足、更换或退货等措施,以满足规格的要求，由此发生的 * 切损失和费用由投标人承担。
|
2.3投标人负 (略) 安装和调试,提供货物安装、 (略) 需的专用工具和辅助材料。投标人应在货物运至指定地点后 * 天内（也可以根据最终用户的时间来定） 时间内开始安装调试,并在 5 天内安装调试完毕。
|
2.4由投标人代表和采购人组成验收小 (略) 验收。验收标准按照国家 (略) 。经检验设备正常运作后签署验收报告,产品保修期自验收合格之日起算。
|
3
|
培训
|
3.1▲中标人应派专业技术人员免费对采购单位 (略) 定期培训及指导，直至其完全掌握设备的使用 (略) 理技术。
|
3. (略) 培训：中标 (略) 技术培训，保证使用人员正常操作设备的各种功能，分为设备和应用培训。
|
3.3集中培训：根据设备技术要求，可向中标人提供使用和维修技术人员培训。
|
3.4计算机辅助培训：针对该机型的多媒体互动操作教学软件，方便学习掌握基本操作和各项高级功能。
|
3.5网络教育：专业 (略) 网站，提供与世界各地用 (略) 网上交流和学习的平台，并随时了解最新的技术进展和各种教育课程、会议信息。
|
4
|
知识产权
|
4.1投标人应保证采购人在使用该货物 (略) 分时，免受第 * 方提出的侵犯其专利权、商标权、著作权或其它知识产权的起诉。 (略) 提供软件的合法性，所发生的任何知识产权纠纷与采购人无关。
|
4.2采购人购买产品后，有权对该产品与 (略) 配套、整合或适当改进，而免受侵犯专利权的起诉。
|
4.3知识产权归属： (略) 的设备改造，知识产权应遵守双方约定，中标人不得在采购人不同意的情况下，泄露或销售相关技术内容或设备改造方案。
|
5
|
付款方式
|
5.1合同签署后7个工作日内，采购人支付 * %预付款。采购人通知发货后7个工作日内，采购人支付 * %预付款。货到验收合格后，中标人凭验收报告，采购人7个工作日内支付 * %货款。
|
6
|
违约责任
|
6.1货物抵达目的港 * 天内，如发现质量、规格、数量与合同的约定不 * 致，除保险公司或运输代理声明负责的以外，采购人有权根据中 (略) 出具的检验证书要求换货或要求赔偿，所需费用（如检验费、退回次品运输替换货品的运费、保险费、仓储费、装卸费等）由投标人承担。
|
6.2如果投标人没有按照约定日期交货，除不可抗力之外，如果投标人愿意支付罚金，则采购人应同意延期出运。罚金不超过迟延出运货物总价的5%。罚金比率为每 * 天0.5%，不足 * 天以 * 天计。如果投标人比规定的装运时间迟延 * 周，采购人有权解除合同。即使解除合同，投标人也应向采购人支付罚金。
|
7
|
其他
|
7.1投标人应按其投标文件中的承诺，进行其他售后服务工作。
|
7. (略) 技术彩页，原厂技术彩页必须支持投标产品。
|
7.3消耗品/零配件供应及时（ (略) 耗材成交目录），必须以本地最优惠价格提供。
|
|
|
|
技术规格偏离表
|
|
序号
|
货物名称
|
招标技术要求
|
投标技术响应
|
偏离情况
|
说明
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
商务规格偏离表
|
|
序号
|
目录
|
招标商务条款
|
投标商务条款
|
偏离情况
|
说明
|
|
（ * ）免费保修期内售后服务条款偏离表
|
|
1
|
|
|
|
|
|
|
2
|
|
|
|
|
|
|
……
|
|
|
|
|
|
|
（ * ）免费保修期外售后服务条款偏离表
|
|
1
|
|
|
|
|
|
|
2
|
|
|
|
|
|
|
……
|
|
|
|
|
|
|
（ * ）其他商务条款偏离表
|
|
1
|
|
|
|
|
|
|
2
|
|
|
|
|
|
|
……
|
|
|
|
|
|
|
|
评标信息
|
序号
|
评分项
|
权重
|
1
|
价格
|
*
|
2
|
(略) 分
|
*
|
|
|
序号
|
评分因素
|
权重
|
评分方式
|
评分准则
|
1
|
技术保障措施
|
3
|
专家打分
|
在投标文件中详细说明保障措施（ (略) 、技术方案、技术人员、场地、车辆等）， (略) 根据 (略) 横向比较，按优 * 分，良 * 分，中 * 分，差0分打分。
|
2
|
施工安全保障措施
（仅适用于有施工要求的项目）
|
3
|
专家打分
|
在投标文件中详细说明保障措施， (略) 根据 (略) 横向比较，按优 * 分，良 * 分，中 * 分，差0分打分。
|
3
|
检测报告
（仅适用于对产品有检测要求的项目）
|
5
|
专家打分
|
提供检测合格报告的得分，没有提供或检测不合格的不得分。
|
4
|
技术规格偏离情况
|
*
|
专家打分
|
1. 投标人应如实填写《技术规格偏离表》， (略) 根据技术需求参数 (略) 打分，各项技术参数指 (略) 满足的得 * 分，带▲每负偏离 * 项扣6分。
|
3
|
商务需求
|
8
|
|
|
序号
|
评分因素
|
权重
|
评分方式
|
评分准则
|
1
|
免费保修期内售后服务条款偏离情况
|
5
|
专家评分
|
投标人应如实填写《免费保修期内售后服务条款偏离表》， (略) 根据 (略) 打分，全部满足要求的得 * 分，每负偏离 * 项扣5分。
|
2
|
其他商务条款偏离情况
|
3
|
专家评分
|
投标人应如实填写《其他商务条款偏离表》， (略) 根据 (略) 打分，全部满足要求的得 * 分，每负偏离 * 项扣1分。
|
4
|
(略) 分
|
6
|
|
|
序号
|
评分因素
|
权重
|
评分方式
|
评分准则
|
1
|
投标人近 * 年同类业绩（ (略) 发布之日）
|
3
|
专家评分
|
提供3个同类业绩即得满分，提供2个得 * 分，提供1个得 * 分，未提供的不得分。投标人必须在投标文件中提供每 * 个完工项目的合同和验收报告，否则不得分。
|
2
|
履约评价
|
3
|
专家评分
|
根据 (略) 市政府采购履约评价库中的资料打分。履约评价无差评的得 * 分，有差评的得0分。
|
|
PDF格式
Excel格式
Word格式
京公网安备 11010802042560号