研抛系统升级改造招标公告



(略) (略) 拟邀请北 (略) 对其研抛系统升级 (略) 单一来源采购，其理由如下：

目前本课题组承担的某军工课题进展顺利，已经攻克了大面积CVD金刚石膜（沉积直径超过120mm，正向150mm发展）和金刚石大单晶沉积技术，接下来将是对CVD金 (略) 高精度的光学研磨抛光。

由于金刚石是世界上最硬的材料，如此大面积的纯金刚石膜想要达到超高精度（表面粗糙度5nm以内，整膜面型控制在10-20μm），需要极其专业的专用研抛设备。国内目前仅有北 (略) 具有相关设备的开发经验，是唯一 (略) 满足我们技术要求的单位。

因此我 (略) 单一采购方式，即由北 (略) 对现有 (略) 升级改造。

其他供应商如有异议，请于 * 日前携书面材料 (略) (略) 联系，逾期将不再受理。

(略) 联系方式：

地址：北 (略) 路30 (略) 办公楼106

联系人：石老师   邮编： ***

联系电话： ***