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空间物理超高真空系统招标公告

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关于“空间物理超高真空系统”单一来源采购的公告拟采购设备名称：空间物理超高真空系统数量：*套型号/规格：*.真空腔体、盲板法兰、螺栓螺母及支架均为***不锈钢材料，磁导率低于*.**。*.真空腔体整体浸入超声波清洗池清洗。腔体整体进入真空炉除气。*.真空腔体极限真空度达到*×**-*Pa，整体漏率低于*.*×**-*Torr&#****;L/s。*.腔内平台X、Y平移范围±**mm，水平面...

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