中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院介质原子层沉积机采购项目-A032103电子工业专用生产设备-预算金额440.000000万元(人民币)

A*电子工业专用生产设备

介质原子层沉积机货物项目的意向公开描述：介质原子层沉积机， 数量：1套。 用途：用于沉积原子层厚度的氧化铝，氧化钛等氧化物薄膜、用于二维材料制备与有源区绝缘层制备。技术要求：1、支持8inch Wafer以及向下兼容2、均匀性优于3%3、沉积温度：25~300℃4、氧化铝沉积速率：0.8~1.2埃米/沉积周期交付时间要求：合同签订后10个月内；交付地点要求:广州机场售后服务要求：在质保期内，24小时内电话响应，48小时内到达现场。包含装机服务，和对用户工程师提供针对设备原理、基本操作、日常保养和简单故障排除的现场培训。