浙江丽水中欣晶圆半导体科技有限公司中欣晶圆大直径硅片外延项目先行竣工环境保护验收公示

根据《建设项目环境保护管理条例》和《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》要求，2024年5月30日，浙江丽水中欣晶 (略) 邀请相关单位人员及专家组成验收工作组，根据浙江 (略) 编制的《浙江丽水中欣晶 (略) 中欣晶圆大直径硅片外延项目先行竣工环境保护验收监测表》（QX(竣)*），严格依照国家有关法律法规、建设项目竣工环境保护验收技术规范、本项目环境影响评价报告表和审批部门审批意见等要求对本项目进行验收，内容如下：

一、工程建设基本情况

1、建设地点、规模、主要建设内容

浙江丽水中欣晶 (略) (略) 莲都区成大街618号地块，地块总占地面积*m²，在该地块新建厂房、仓库及附属设施，实施大直径硅片外延项目 。项目主要采用SC-1清洗、清洗、外延、检测的生产技术工艺，购置外延炉、洗净机、颗粒测试仪等国产及进口设备，建成现状年产*片200mm半导体硅外延片和*片300mm半导体硅外延片的生产能力。

项目工作制度及定员：本项目劳动定员192人，实行三班制工作制度，年工作300天，厂区内设有食堂和宿舍。

2、建设过程及环保审批情况

公司于2022年5 (略) (略) 编制了《浙江丽水中欣晶 (略) 中欣晶圆大直径硅片外延片项目环境影响报告书》，并于2022年5月30 (略) 生态环境局出具的《关于浙江丽水中欣晶 (略) 中欣晶圆大直径硅片外延片项目环境影响报告书的审批意见》（丽环建开[2022]23号）。项目2022年5月开工，2023年7月投入试生产，目前形成年产*片200mm半导体硅外延片和*片300mm半导体硅外延片的生产能力。项目已进行排污许可登记，编号《*MA7BF2F*W》，有效日期为2022年9月29日-2027年9月28日。

3、投资情况

项目实际总投资为*万元，环保实际投资额为*元，占项目实际总投资的1.71%。

4、验收范围

本次验收为浙江丽水中欣晶 (略) 中欣晶圆大直径硅片外延项目先行验收，验收产能为年产*片200mm半导体硅外延片和*片300mm半导体硅外延片。

二、工程变动情况

根据项目《竣工环保验收监测表》及现场检查：项目部分厂房设备未建设，验收产能为年产*片200mm半导体硅外延片和*片300mm半导体硅外延片；根据生产设备布局情况增加2套碱液喷淋塔（合计为4套）；公司针对气站酸性气体（氯化氢）增设碱性喷淋塔处理后15m排气筒排放，针对污水处理臭气微负压收集增设喷淋塔处理后25m排气筒排放；其它建设情况与环评基本一致，无重大变动。

三、环境保护设施建设情况

1、废水

项目产生的废水主要有生活污水、初期雨水、生产废水（硅片洗净机工艺废水、片盒预洗净机清洗废水、石英件洗净机工艺废水、scubber除害装置废水）、公用废水（蒸汽冷凝水及排污水、离子水制备浓缩水、纯水制备反冲洗水和废气洗涤塔废水）。

生活废水经化粪池或隔油池预处理后的生活污水纳管排放；初期雨水经收集池（720m³）收集后引入终端沉淀池处理后纳管排放。

硅片洗净工艺废水主要有酸碱废水、含氟废水、含氨废水，各自进入污水站内已建的含氨废水、含氟废水、酸碱废水处理系统处理处理；片盒洗净机清洗废水进入污水站酸碱废水处理系统处理；石英件洗净机废水进入污水站含氟废水处理系统处理；scubber除害废水进入污水站酸碱废水处理系统处理；锅炉排污水、纯水制备反冲洗水和废气洗涤塔废水进入污水站酸碱废水系统处理，上述废水处理后引入终端沉淀池处理后纳管排放；蒸汽冷凝水回用于生产；离子水制备浓缩水纳管排放。各类废水最终进入水阁污水处理厂处理达标后排放，具体处理工艺及处理能力详见验收监测报告。

2、废气

本项目废气主要为硅片清洗产生的酸性废气、碱性废气、外延废气、锅炉燃烧废气、污水站臭气、气站废气、食堂油烟。

酸性废气槽内负压收集后进入4套废气洗涤塔（碱液喷淋）处理后各通过4根25m高排气筒排放。

碱性废气槽内负压收集后进入酸液洗涤塔处理后通过1根25m高排气筒排放。

外延废气经外延炉尾部自带尾气处理器（local scrubber）两级水洗处理后汇总至楼顶5套喷淋塔+吸附装置二次处理后经5根25m排气筒排放。

锅炉燃烧废气收集引至25m排气筒排放。

污水站臭气设置负压集气管道收集引至楼顶一套“喷淋塔”处理后25m排气筒排放。

气站房内的酸性气体（氯化氢）收集引至一套“碱性喷淋塔”处理后于15m排气筒排放。

食堂油烟经油烟净化装置处理后楼顶高空排放。

3、噪声

项目噪声主要为机械设备的运行噪声。通过合理布局和选用低噪设备等措施来降低设备运行时产生的噪声以及减少对周边环境的影响。

4、固废

项目危险废物有含汞废片、废水处理污泥污泥、危废包装容器、职工生活垃圾、废次品、废渗透膜、废吸附棉、废活性炭、废机油。

含汞废片、废水处理污泥、危废包装容器、废吸附棉、废机油、分类收集暂存危废间内，委托光大绿保固废处置（温岭）有限公司处置；废次品回收综合利用；废活性炭厂家维护回收；废渗透膜、生活垃圾委托环卫部门清运处置。

5、其它

公司污水处理处理系统排放口、总排口设置了在线监测装置，运维单位为丽水 (略) ；已基本落实环境风险防范措施，设有1座地埋式应急池640m³，并制定了环境风险事故应急预案，已备案（*-2023-53-H）。

四、环境保护设施调试效果

1、废水

根据监测结果，公司总排口废水中pH值范围、悬浮物、化学需氧量、总磷、总氮、氟化物、石油类排放浓度均符合《电子工业水污染排放标准》（*）中表1间接排放限值，其中氨氮排放符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）中标准限值要求；动植物油和五日生化需氧量符合《污水综合排放标准》（*）中三级标准要求。

项目含氨废水处理设施化学需氧量处理效率为90.26%。酸碱废水处理信息氨氮处理效率为92.10%，含氨废水处理设施氨氮处理效率为96.10%，含氟废水处理设施氟化物处理效率为43.47%，含氨废水处理设施总氮处理效率为87.95%。

2、废气

无组织排放：公司厂界无组织颗粒物、氯化氢、氟化物、氮氧化物浓度均符合《大气污染物综合排放标准》（*）无组织标准要求；氨气、臭气浓度符合《恶臭污染物排放标准》（*）厂界标准要求。

敏感点环境空气中总悬浮颗粒物、氟化物、氮氧化物均符合《环境空气质量标准》（*）及修改单中二级标准要求。特征污染物氯化氢、氨气符合环评提出标准要求（HJ2.2-2018附录D）。

有组织排放：验收监测期间，公司干式酸排排气筒出口氯化氢、颗粒物排放均符合《大气污染物综合排放标准》（*）中二级标准及排放速率要求。湿式酸排排气筒出口氟化物、氮氧化物排放均符合《大气污染物综合排放标准》（*）中二级标准及排放速率要求。碱排排气筒出口氨气排放符合《恶臭污染物排放标准》（*）中排放速率要求。天然气燃烧废气排气筒出口颗粒物、二氧化硫、氮氧化物、烟气黑度排放均符合《锅炉大气污染物排放标准》（*）中新建燃气锅炉特别排放标准要求及《燃气锅炉低氮改造工作技术指南（试行）》标准要求。污水站臭气排气筒出口臭气浓度、氨、硫化氢排放均符合《恶臭污染物排放标准》（*）中标准要求。气站酸性废气排气筒出口氯化氢排放符合《大气污染物排放标准》（*）中二级标准及排放速率要求。

3、噪声

验收监测期间，公司厂界东侧昼间和夜间噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（*）中3类标准要求，其中南侧、西侧、北侧满足4a类标准要求。

敏感点昼间和夜间噪声符合《声环境质量标准》（*）中2类标准要求。

4、总量控制情况：根据验收期间监测结果核算，项目实际排放量为COD：16.88t/a、

NH₃-N：0.844t/a、SO₂：0.004t/a、NO_X：0.066t/a，符合环评总量控制要求。

五、验收结论

依据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》（国环规环评[2017]4号），浙江丽水中欣晶 (略) 中欣晶圆大直径硅片外延项目先行环保手续齐全。根据《 浙江丽水中欣晶 (略) 中欣晶圆大直径硅片外延项目先行竣工环境保护验收监测表》等资料及环境保护设施建设情况，企业基本按照建设项目环境保护“三同时”的有关要求落实了各项环境保护设施与措施，并按要求公示验收情况。

公示日期：2024年6月14日-7月14日

联系人、电话：姚继斌 *

(略) 站：http://**

中欣晶圆半导体验收监测报告.pdf