中国科学院微电子研究所2020年3至12月政府采购意向-JBX6300FS电子束光刻系统维修保养服务采购意向公告

C * -其他专业技术服务

1.名称：JBX * FS电子束光刻系统维修保养服务；2.时限：3年保障；3.目标：电子束光刻系统是实验室条件下微纳米加工不可替代的仪器装备，是 * 种高精度的纳米级芯片直写系统，系统厐大复杂，包括电子光学系统、真空系统、电子束扫描系统、伺服系统、激光定位系统、 (略) 理系统、计算机控制系统、操作系统、温度控制系统、十万伏（ * KV）高压系统和电源控制系统等。为保证 (略) 和纳米级直写的精度要求，需要每年对 (略) 维护、保养和更换电子枪等技术服务。4.质量：现场验收合格。