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销邦服务号
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| 非图形晶圆表面检测系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) (略) |
| 采购项目名称： | 非图形晶圆表面检测系统 |
| 预算金额： | * . *** 万元(人民币) |
| 采购品目： | A *** -其他电子和通信测量仪器 |
| 采购需求概况 ： | 该设备用于光刻非图形晶圆表面颗粒尺寸的检测，具有 * nm的颗粒分辨率和良好的检测重复性，能够满足本项目提出的 * - * nm晶圆表面颗粒检测的要求。这对于该项目的顺利完成起着非常重要的作用。且该设 (略) 用设备相匹配，测试结果更接近产业界标准。项目承担单位的现有设备能检测 * nm晶圆表面的颗粒，型号老旧，无法满足课题需求、且该设备在本项目中的使用率非常高，每次晶圆旋涂光刻胶之 (略) 长时间的颗粒检测，因此无法利用国内其他单位设备。 (略) 述，购买非图形晶圆表面检测系统是本项目顺利完成的必备基础。计划购置1台。 |
| 预计采购时间： | *** |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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