柔性衬底镀膜仪和阻抗分析仪清采比选号采购公告

采购项目名称：柔性衬底镀膜仪和阻抗分析仪
采购单位： (略) (略) 中关村环 (略) 3号楼
付款方式：合同签订后40%，到货后50%，验收合格后10%
签约时间要求：成交后5个工作日内
交货时间要求：签订合同后30个工作日内
交货地址： (略) (略) 中关村环 (略) 3号楼
技术参数及配置要求：1 柔性沉底镀膜仪 1.1 整机尺寸≤W700×D500×H700 mm3； 1.2 沉积室直径200 mm，深度200 mm，转盘直径160 mm，高度160 mm，配置≥3层； 1.3 可沉积Parylene N、C、D、F-VT4、F-AT4型单体粉； 1.4 集成硅烷蒸发模块，压力与温度PID控制，实现Parylene涂层前硅烷沉积功能； 1.5 自动调整蒸发速度，镀层厚度控制在75 μm ～ 200 μm之间； 1.6 蒸发器温度实时显示设定范围：室温~200 ℃； 1.7 裂解舱温度实时显示设定温度范围：室温~750 ℃； 1.8 沉积室温度实时显示设定范围：室温~200 ℃； 1.9 可设定蒸发器压力最大偏差、门温度最大偏差、裂解管温度最大偏差、压力传感器温度最大偏差、腔体温度最大偏差、硅烷蒸发器温度最大偏差、 (略) 1温度最大偏差值；具备转盘位置错误报警、真空泵保养周期报警提示；具备详细的报警描述，方便判断报； 1.10 冷阱具有液氮和冷阱头两种方式； 1.11 冷阱头冷却方式为风冷，最低温度低于-100 ℃； 1.12 双级油式旋片泵，极限真空泵小于<0.1 Pa，噪音不超过52 bB； 1.13 真空泵抽速≥11 m3/h； 1.14 配有慢速抽气模块，可以设定慢速抽真空的时间，配有Pirani真空计，检测沉积室的真空压力值和真空泵的真空压力值； 1.15 Windows人机交互操软件，多种语言（含中文），多级系统权限管理； 1.16 可以存储≥50套工艺参数，具有工作参数和工艺数据储存功能、工艺参数追溯功能、数据导入导出功能、一键回复原厂设置、数据备份与还原功能；具有检测真空腔体泄漏率功能。 2 阻抗分析仪 2.1 阻抗系统测试频率覆盖1 mHz～200 KHz； 2.2 测量量程覆盖100 mΩ～100 MΩ 2.3 测量速度≤2 ms； 2.4 基本误差≤±0.05%； 2.5 基本精度：Z : ±0.05%rdg；θ: ±0.03°。
质保期：60个月
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