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中国科学院微电子研究所2020年3至12月政府采购意向-线宽量测仪

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线宽量测仪
(略) 在采购意向： (略) (略) * 月政府采购意向
采购单位： (略) (略)
采购项目名称：线宽量测仪
预算金额： * . *** 万元(人民币)
采购品目：
A *** -其他电子和通信测量仪器
采购需求概况：
线宽量测仪；主要用于 * nm以下图形的自动量测，且不能对光刻胶图形造成损伤；共采购1台；需要满足以下技术指标：1. * 次电子分辨率<2nm2. 量测准确性<0.6nm3. 量测重复性在1%以内4. 生产效率： * 片每小时。
预计采购时间： ***
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

招标进度

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