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项目名称:燕东科技12吋介质膜刻蚀设备采购
招标项目编号:0610-2340IH*
招标范围:介质膜刻蚀设备 2台 为12英寸半导体集成电路硅片制造流程中“电容耦合等离子体干法刻蚀机,适用于300mm硅片的介质层刻蚀工艺设备”。 其中1台对应压点等刻蚀工艺。 其中1台对应孔等刻蚀工艺。
招标机构: (略)
招标人:北京燕 (略)
开标时间:2023-08-11 10:00
公示时间:2023-08-14 13:19 - 2023-08-17 23:59
中标结果公告时间:2023-08-18 09:11
中标人:南昌中 (略)
制造商:南昌中 (略)
制造商国家或地区:中国