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0714-1440ETC02396/02中国科学院上海技术物理研究所招标项目国际招标变更公告(1)

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变更简要说明：招标文件第八章技术规格中的条款有所更改。中国电子进出口总公司受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于****-**-**在发布变更公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。*、招标条件项目概况:中国科学院上海技术物理研究所诱导耦合增强反应离子干法刻蚀机系统招标项目为国家重点实验室项目。主要用于关键薄膜与纳米结构的干法刻蚀，涉及氧化物及Ⅲ-Ⅳ族半导体材料。...

招标进度

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