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中国科学院微电子研究所2021年3至12月政府采购意向-晶圆平整度全检仪

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所需购置仪器将主要用于分析晶圆的外形、平整度和表面粗糙度是键合前晶圆检测必不可少的表征手段可保证高质量晶圆键合的实施。

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# 平整# 晶圆# 研究所

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