关于安徽微芯长江半导体材料有限公司SIC单晶衬底研发及产业化项目环境影响报告书拟审批意见的公示

项目名称

(略) 微芯长 (略) SIC单晶衬底研发及产业化项目

建设地点

(略) 经济技术开发区 (略) * 路和 (略) 大道交叉口西南角

建设单位

(略) 微芯长 (略)

环境影响评价机构

中 (略) 全环 (略) (略)

项目概况

* 、该项目位于 (略) 经济技术开发区 (略) * 路和 (略) 大道交叉口西南角，占地面积 * 亩，总投资 * .5亿元，其中环保投资 * 万元。主要建设内容包括： (略) 房，包括碳化硅晶体生产车间、碳化硅晶圆片加工车间，配套建设辅助、储运、公用、环保等工程，购置主要设备、检测设备等 * 台，达产后形成年产碳化硅晶圆片4英寸（直径 * mm）5万片，碳化硅晶圆片6英寸（直径 * mm） * 万片的生产能力。项目已通过 (略) (略) 备案。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

* 、项目设计、 (略) 管理须严格落实《报告表》提出的各项环境保护措施，并重点做好以下工作：

（ * ）严格落实废气污染防治措施,进 * 步优化废气收集、处理系统及无组织排放控制措施，提高废气污染物去除率。

1.原料混合废气集气罩收集,经 (略) 理后通过 * m高排气筒（DA * ）排放;

2.晶片粘盘精抛光废气负压收集，经 (略) 理后通过 * m高排气筒（DA * ）排放；

3.晶片清洗顺序是异 * 醇清洗→水清洗→硫酸清洗→水清洗→氢氟酸清洗→水清洗→氨水清洗，醇洗、酸洗、碱洗废气分别负压收集，醇洗废气经水喷淋+干燥器+ (略) 理后通过 * m高排气筒（DA * ）排放，硫酸、氢氟酸清洗废气经 (略) 理后通过 * m高排气筒（DA * ）排放，氨水清洗废气经 (略) 理后通过 * m高排气筒（DA * ）排放；

4.天然气锅炉采用低氮燃烧技术，锅炉废气通过 * m高排气筒（DA * ）排放；

5. (略) 理站废气密闭收集，经生物滤 (略) 理后通过 * m高排气筒（DA * ）排放；

6. * 类库和危废库换气废气密闭收集，经水喷淋+干燥器+ (略) 理后通过 * m高排气筒（DA * ）排放。

颗粒物、非 * 烷总烃、硫酸雾、氟化物等废气污染物 (略) (略) 市《大气污染物综合排放标准》（DB * - *** ）表1排放 (略) 界浓度限值。非 * 烷总烃无 (略) 《挥发性有机物无组织排放控制标准》（GB *** 9）中相关要求。锅炉 (略) 《锅炉大气污染物排放标准》（GB *** 4）中表3大气污染物特别排放限值要求，其中氮氧化物排放浓度不高于 * 毫克/立方米。氨等恶臭污 (略) 《恶臭污染物排放标准》（GB *** 3）表1 * 级和表2排放标准。

严格落实各项水污染防治措施。按照“清污分流、雨污分流、分类收集、重复利用”的原则，合理 (略) 、 (略) 、 (略) 、非正常工况和 (略) 。晶片抛光加工废水、研磨清洗废水 (略) 理系统，醇洗废水、醇洗废气喷淋塔废水 (略) 理系统，氢氟酸清洗废水、酸雾吸收塔废水、 * 类库和危废库换气废气水喷淋废水 (略) 理系统，碱雾吸收塔废水、硫酸清洗废水 (略) 理系统。生活污 (略) 理。以上废水与纯水制备产生的浓 (略) 废水总排口达到《电子工业水污染物排放标准》（GB *** 0）表1间接排放标准 (略) 理厂纳管标准，进 (略) (略) 理达标排放。循环冷却水不外排。

（ * ）规 (略) 理处置。按照“减量化、资源化、无害化”原则，对 (略) 分类收集、 (略) 置,确保不对环境造成 * 次污染。醇洗槽废液 (略) (略) 理达标排放，氢氟酸清洗槽废液 (略) (略) 理达标排放，硫酸清洗槽废液、碱洗槽废液 (略) (略) 理达标排放。废切削液、废抛光液、废抛光布、有机废液、危化品废桶、废活性炭、 (略) 理污泥等危险废物须严格按照《危险废物收集贮存运输技术规范》（HJ *** ）、《危险废物贮存污染控制标准》（GB *** 1）及修改单要求贮存、转移，委托 (略) 置。生产废料、废切割钢丝、切割边角料、废边角料等 * 般工业固体废物外售，废石墨坩埚、不合格 (略) (略) 理，混料收尘回用生产。 (略) (略) 须符合《 * 般工业固体废物贮存、 (略) 污染控制标准》(GB *** 1)及修改单要求。生活垃 (略) 门处置。

（ * ）落实噪声污染防治措施。选用低噪声设备，合理设置高噪声设备， (略) 区平面布置。对高噪声设备采取基础减振、隔声、消声等降噪措施。 (略) 界噪声须符合《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB *** 8）3类标准的要求，施工期须符合《 (略) 界环境噪声排放标准》（GB *** 1）中限值要求。

（ * ）强化地下水和土壤环境保护措施。按照《报告书》要求，落实分区防渗措施。 (略) 、危化品原料库、危废库、应急事故池等区域采取重 (略) 理， * 般固废库、 (略) 、原料库、 (略) 房等区域采取 (略) 理，定期 (略) 维护， (略) 日常维护和泄漏检测。

（ * ）加强环境管理及监测。建立 (略) 环境管理机制，制定环保规章制度，建立企业环境管理体系。 (略) 及维护管理，确保各类污染物稳定达标排放。落实《报告表》提出的环境监测计划，定期开展监测， (略) 公开。规范设置各类排污口，各类废气、废水排放口须具备取样检测条件。

* 、污染物排放总量按 (略) (略) (略) 。

* 、落实《报告书》提出的 * 米环境防护距离要求。

* 、项目建设 (略) 环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投入使用的环境保护“ * 同时”制度， (略) 会监督。项目产生污染物排放之前，履行排污许可手续。项目建成后应按规定开展环境保护验收工作， (略) 会公开验收结果。若项目发生重大变更，你公 (略) 相关审批手续。

* 、根据《关于划转生态环境保护执法监管职权的函》（铜环〔 * 号）要求，由 (略) （ (略) (略) ）负责 (略) 区环保监管 (略) (略) 等工作。

公众参与情况

公示期间无反馈意见。

听证权利告知

依据《中华 (略) 政许可法》，自公示期 * 日内申请人、利害关系人可对以下拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

(略) 门

(略)

受理地点

开发区管 (略)

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