电子束纳米粒子发生器-电子束纳米扫描探针台（清设比选20221118号）采购公告

采购项目名称：电子束纳米粒子发生器-电子束纳米扫描探针台
采购单位： (略)
付款方式：合同签订后付款70%,验收合格后一周付尾款30%
签约时间要求：成交后5个工作日
交货时间要求：签订合同后30个工作日
交货地址： (略)
技术参数及配置要求：1）XYZ扫描系统，开放式的光杠杆，电子控制器、闭环反馈设计，用于纳米针尖样品对焦光学成像系统2）低噪声，高分辨率扫描系统3）样品台尺寸： *** x *** x 6.35 mm4）光学定位系统：400x Zoom, 2 μm resolution5）分辨率水平 ： Z 轴分辨率（噪音水平）: 0.03nm； XY轴分辨率(噪音水平) ：0.3nm； XY电子分辨率：0.01nm6）XY非线性度：1%7）标配模式：（1） 纳米操控 （nanomanipulation）（2）纳米刻蚀 （nanolithography）8）探针偏压：0~100V9）三轴分离的闭环扫描器,扫描范围:50 x 50 x 17 μm，Z轴噪音30pm用于普通微纳米级样品扫描及成像10）数据连接借口USB输出：XY轴扫描使用2个工作在7Khz的24位DAC同时串联一个4位的增益控制器(带宽大于200Hz)11）2个控制16位DAC控制频率为2Khz12）8个16位的ADC工作频率48Khz13）振幅/相位探测器频率范围2Khz-800kHZ,输出电压10Vpp，增益控制14）Z轴反馈控制使用GPID（通用总线接口），具有4位增益系统.15） (略) 诊断灯16） (略) 激光进出同轴显微系统（带有一个5倍 *** mm或10倍 *** ）17） 预留金相平场复消色差超长工作距离物镜. 18) (略) 激光进出口，带可调光澜，二向色镜和常规滤色片，可带CMOS大靶面工业相机。
质保期：12个月