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申购单号:CM(略)
申购主题:西南大学教学实验及实训基地设备更新项目- (略) 建设
采购单位:西南大学
报价要求:
发票类型:增值税专用发票
币种:人民币
预算:(略).0
签约时间:发布竞价结果后7天内签约合同
送货时间:发布竞价结果后90天内送达
安装要求:免费上门安装（含材料费）
收货地址: (略) / (略) / (略) /****
付款方式:货到后按照履约保证金支付方式付款
备注说明:各竞标商须知：1.所有货物要求免费送货上门、免费安装调试、原厂包装，竞标商如不能提供免费送货上门和免费安装调试，必须注明，申购用户认可的，方可成交。2.成交金额在(略)元以上的，供方应在质量验收合格后，需方支付货款前，成交厂商向需方交纳成交总金额的5%作为质保金。质保金自货物质量验收合格之日起一年内若无遗留问题，需方将其质保金全额无息退还供方。3.开户名称： 西南大学 银行账号： (略)8877 开户银行： 工行重庆朝阳支行 统一社会信用代码： (略)33W 银行行号： (略)；质保金退还事宜联系电话：(略)；4.如竞标货物为进口的，必须填写品牌、型号、厂家、产地，并在报价说明里面填写报价方式为DDP/DAP等，如不填写报价方式的则默认为DDP报价。5.合同模板请见：http://**请最后成交供应商必须提供增值税专用发票。申购明细：
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 1 | PVD 薄膜沉积系统 | 1.0 | 套(略).0 |
| 品牌 | 杭州大华 | ||
| 型号 | MiniLab-60S | ||
| 规格参数 | [{"key":"1","value":"1、溅射沉积室沉积室、连接管道和法兰均采用SUS304不锈钢，材料致密放气量小；前开门结构，有观察窗和挡板，磁控靶安装在下底盘，样品台在上顶板，腔室带防污内衬，可拆卸清洗。2、真空系统真空系统★1）极限真空度：优于3×10-5Pa (空载经烘烤除气后）2）恢复真空：从大气抽至6×10-4Pa≤40min（充入干燥氮气、短时间暴露大气开始抽气）3）真空室漏率：关机12小时真空度≤5Pa。（新设备空载）★4）系统真空检漏漏率：小于5.0×10-10Pa·m3/s；内外表面电 (略) 理。3、样品台1）样品台：抽屉式结构可装载最大4英寸基片托（方片尺寸100mm×100mm）可以根据客户样品形状和大小定制样品托。2）样品台旋转：转速0～30rpm连续可调；步进电机控制，转动平稳。3）工转机构：采用上驱动，中心悬挂方式，磁流体无油密封传动。转动支承部位配有水冷套装置，避免加热器等热源对运动精度的不良影响。加热器周围有隔热保护罩，使基片受热均匀。4）样品台加热：采用数字温控仪，进口电阻合金进行加热，加热炉温度：室温～600℃，由热电偶闭环反馈控制，可控可调。控温精度±1℃，可分段设定升温斜率。 (略) 内，温度均匀性±5℃。4、磁控溅射靶组件安装4个磁控溅射靶组件，其中2个靶位可溅射磁性材料（如镍或铁等）。 5、 (略) 1）3路质量流量计 (略) ，可外接多种气体，其中Ar：500sccm、O2：50sccm、N2：100sccm 精度±1%，2）前端带电磁截止阀和过滤器，后端配有混气室；6、溅射电源1）射频电源：功率500W，频率13.56MHz，全自动匹配； 数量：1套2）直流溅射电源：最大输出功率：500W；输出电压：0～800V可调 数量：2套 （其中一台直流电源一拖二，切换使用）7、水路系统SUS304不锈钢水排，保障循环供水到每个水冷部件；每路冷却水采用水流感应开关检测供水状态，执行异常报警。8、软件及其功能（配套控制软件）★1、投标人提供的成品软件应具有著作版权，成品软件应具有一键式操作功能，并配置多种标准工艺参数包，可以直接调取执行；2、应具有自选参数功能，可设定好目标真空度、样品目标加热温度、溅射电源工作参数，系统自动开始抽真空，达到目标真空度后开始加热，达到目标温度后根据设定的功率开启溅射电源，溅射时间以设定的工作参数为准；▲3、同时对溅射电源的功率和溅射时间可以设定多个数值，实现不同输出功率、不同镀膜时间的控制，进而实现多靶轮流溅射和共溅射；★4、完备的工艺菜单编辑功能，大容量菜单存储空间，满足客户菜单存储需求（大于500个）；5、具有操作日志记录功能，记录操作者操作时的关键信息。▲6、机身 (略) +二维码服务系统:手机扫描二维码进入微信操作界面可显示仪器信息、关注公众号、点击查看产品使用说明书、在线故障报修、用户注册等内容，投标人须提供二维码识别证明材料。9、工业冷水机采用微电脑PLC控制，可自动控制整机运行，全功能防错操作系统，电气部分均为国际品牌，保证机器工作稳定，寿命长久。全钛管式水箱蒸发器，防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器，能精确控制水温±1℃，按键式操作，安装简便，静电喷塑外壳，欧化设计，美观大方，外表板采用快速拆装形式。10、 (略) 单元11、备品备件 1套（设备的详细参数见附件）","important":true}] | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
| 序号 | 采购内容 | 数量 | 预算单价 |
| 2 | PVD 薄膜沉积系统 | 1.0 | 套(略).0 |
| 品牌 | 矩阵科技 | ||
| 型号 | RS-B400 Series | ||
| 规格参数 | [{"key":"1","value":"1、溅射沉积室沉积室、连接管道和法兰均采用SUS304不锈钢，材料致密放气量小；前开门结构，有观察窗和挡板，磁控靶安装在下底盘，样品台在上顶板，腔室带防污内衬，可拆卸清洗。2、真空系统真空系统★1）极限真空度：优于3×10-5Pa (空载经烘烤除气后）2）恢复真空：从大气抽至6×10-4Pa≤40min（充入干燥氮气、短时间暴露大气开始抽气）3）真空室漏率：关机12小时真空度≤5Pa。（新设备空载）★4）系统真空检漏漏率：小于5.0×10-10Pa·m3/s；内外表面电 (略) 理。3、样品台1）样品台：抽屉式结构可装载最大4英寸基片托（方片尺寸100mm×100mm）可以根据客户样品形状和大小定制样品托。2）样品台旋转：转速0～30rpm连续可调；步进电机控制，转动平稳。3）工转机构：采用上驱动，中心悬挂方式，磁流体无油密封传动。转动支承部位配有水冷套装置，避免加热器等热源对运动精度的不良影响。加热器周围有隔热保护罩，使基片受热均匀。4）样品台加热：采用数字温控仪，进口电阻合金进行加热，加热炉温度：室温～600℃，由热电偶闭环反馈控制，可控可调。控温精度±1℃，可分段设定升温斜率。 (略) 内，温度均匀性±5℃。4、磁控溅射靶组件安装4个磁控溅射靶组件，其中2个靶位可溅射磁性材料（如镍或铁等）。 5、 (略) 1）3路质量流量计 (略) ，可外接多种气体，其中Ar：500sccm、O2：50sccm、N2：100sccm 精度±1%，2）前端带电磁截止阀和过滤器，后端配有混气室；6、溅射电源1）射频电源：功率500W，频率13.56MHz，全自动匹配； 数量：1套2）直流溅射电源：最大输出功率：500W；输出电压：0～800V可调 数量：2套 （其中一台直流电源一拖二，切换使用）7、水路系统SUS304不锈钢水排，保障循环供水到每个水冷部件；每路冷却水采用水流感应开关检测供水状态，执行异常报警。8、软件及其功能（配套控制软件）★1、投标人提供的成品软件应具有著作版权，成品软件应具有一键式操作功能，并配置多种标准工艺参数包，可以直接调取执行；2、应具有自选参数功能，可设定好目标真空度、样品目标加热温度、溅射电源工作参数，系统自动开始抽真空，达到目标真空度后开始加热，达到目标温度后根据设定的功率开启溅射电源，溅射时间以设定的工作参数为准；▲3、同时对溅射电源的功率和溅射时间可以设定多个数值，实现不同输出功率、不同镀膜时间的控制，进而实现多靶轮流溅射和共溅射；★4、完备的工艺菜单编辑功能，大容量菜单存储空间，满足客户菜单存储需求（大于500个）；5、具有操作日志记录功能，记录操作者操作时的关键信息。▲6、机身 (略) +二维码服务系统:手机扫描二维码进入微信操作界面可显示仪器信息、关注公众号、点击查看产品使用说明书、在线故障报修、用户注册等内容，投标人须提供二维码识别证明材料。9、工业冷水机采用微电脑PLC控制，可自动控制整机运行，全功能防错操作系统，电气部分均为国际品牌，保证机器工作稳定，寿命长久。全钛管式水箱蒸发器，防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器，能精确控制水温±1℃，按键式操作，安装简便，静电喷塑外壳，欧化设计，美观大方，外表板采用快速拆装形式。10、 (略) 单元11、备品备件 1套（设备的详细参数见附件）","important":true}] | ||
| 质保及售后服务 | 按行业标准提供服务 | ||
信息来自：http://**#/purchase/detail/b(略)-0627-429a-995a-35ac2b26bba1
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