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薄膜应力测试仪招标公告

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项目单位：清华大学招标代理机构：清华大学　　清设报第*******号　　清华大学拟对购置薄膜应力测试仪*台进行招标，欢迎具有相应资质的单位报名参与投标。项目情况及相关要求如下：　　一、项目简介　　清华大学微电子学研究所购置薄膜应力测试仪用于高迁移率沟道工程研究项目，主要用于半导体晶片表面沉积的薄膜应力大小和分布进行测量。　　二、招标内容　　薄膜应力测试仪*台，主要技术指标要求如下：　　（一）技术指...

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