超高真空化学气相沉积系统及附件招标预告浙江大学采购中心根据要求,对以下项目进行采购,欢迎合格的供应商前来咨询报名。 *.采购项目:超高真空化学气相沉积系统与电子束蒸发器 超高真空化学气相沉积系统的主要组成及技术指标 CVD真空反应室极限真空度:≤**-*Pa; 系统真空检漏漏率:≤*.*x**-*Pa.l/S; 系统从大气开始抽气,**分钟可达到*.*x**-*Pa; 停泵关机**...
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“销邦招标”