紫外纳米压印标前更正公告

带“★”号条款逐条响应情况表

项目名 称： 项目编号：

条款号

招标文件中带“★”号的条款

投标响应情况

对应投标文件页码

1.1

★1.1 兼容基材尺寸：2英寸、100mm、150mm、200mm直径圆形基材，以及150mm边长方形基材，特殊尺寸形状基材托盘可以定制，厚度0.1-8mm。投标人须对此进行响应，未响应或者响应不满足均视为投标无效。

1.2

★1.2兼容基材材质：玻璃、石英、硅片、树脂材料、金属。投标人须对此进行响应，未响应或者响应不满足均视为投标无效。

1.3

★1.3兼容纳米压印母模具（master）尺寸：2英寸、100mm、150mm、200mm直径圆形母模具，以及150mm边长方形基材，特殊尺寸形状母模具托盘可以定制，厚度0.1-8mm。投标人须对此进行响应，未响应或者响应不满足均视为投标无效。

1.4

★1.4兼容母模具（master）材质：玻璃、石英、硅片、树脂材料、金属，以及硅片或者玻璃片表面光刻胶材料。投标人须对此进行响应，未响应或者响应不满足均视为投标无效。

1.6

★1.6纳米压印压力：连续可调，压印压力可作为参数在软件界面中设定，设备自动调节。投标人须对此进行响应，未响应或者响应不满足均视为投标无效。

1.8

★1.8模具基底对准精度不低于±6μm，支持自动对位，经过训练后对位标记自动捕捉。投标人须对此进行响应，未响应或者响应不满足均视为投标无效。

2.1.2

★2.1.2复合工作模具采用紫外曝光方式固化，包含PET基材和紫外固化聚合物结构层，每个工作模具复制过程小于5分钟,每个复合工作模具使用寿命大于25次。投标人须对此进行响应，未响应或者响应不满足均视为投标无效。

2.2.2

★2.2.2残余层厚度：小于20nm，残余层均匀性：片间偏差小于10nm。投标人须提供表征数据照片进行佐证，未响应或者响应不满足均视为投标无效。

投标人全称（加盖公章）：

投标人代表签字：

日期：