光刻机 | |
(略) 在采购意向: | (略) * 月政府采购意向 |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | 光刻机 |
预算金额: | * . *** 万元(人民币) |
采购品目: | A *** 其他仪器仪表 |
采购需求概况: | 光刻机功能:将各种功能性膜层图形化,是整个微加工工艺流程中最核心的工艺步骤,机台满足最大8吋,向下兼容各类不同尺寸圆片;采用UVLED曝光光源,支持 * nm, * nm, * nm; 分辨率优于0.8um(光刻胶厚度1um时,等间距图形)。 |
预计采购时间: | *** |
备注: | 用户单位为电子 (略) 。 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。