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可用于沉积金属、半导体材料薄膜招标预告

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正文内容



离子束沉积
(略) 在采购意向： (略) * 月政府采购意向
采购单位： (略)
采购项目名称：离子束沉积
预算金额： * . *** 万元(人民币)
采购品目：
A *** 真空应用设备
采购需求概况：
可用于沉积金属、半导体材料薄膜；射频：能量0～ * eV，束流0～ * mA，出口束径φ * mm；直流：能量0～ * eV，束流0～ * mA，出口束径φ * mm；沉积面积最大范围φ * mm，沉积均匀性≤±5%；极限真空≤5× * -5Pa， * 年6月到货，现场调试时间不小于 * 周，验收完成以后保修期3年。
预计采购时间： ***
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

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# 射频# 薄膜# 材料

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