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清华大学深圳国际研究生院原子层沉积系统意向公开

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正文内容

(略) 深圳 (略) 原子层沉积系统意向公开
采购单位: (略) 深圳 (略)
项目名称:原子层沉积系统
预算金额（元）: ***
采购品目:其他仪器仪表
采购需求概况:具有低温沉积,高温沉积,等离子体辅助沉积,等 (略) 理等功能。系统主要包 (略) 输送系统,低温沉积腔体(side-flow type,300 degree),高温沉积腔体(columnar chamber,1100
联系人:蒋克林
联系电话: ***
预计采购时间:2022-04
备注:无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准

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# 沉积系统# 研究生院# 清华大学

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