吉林大学2022年11至12月政府采购意向-极端低温强磁电学测试系统-A02110205集成电路参数测量仪-预算金额156.000000万元(人民币)

A* (略) 参数测量仪

极端低温强磁电学测试系统主要配置包括低温探针台主机、温控装置、显微单元、磁场单元、样品台、水冷机、分子泵，实现半导体及半导体功率器件IV、CV特性测试，配备2.5T垂直磁场（采用超导螺线管）和10K低温，可在不同的磁场、温度和电流下根据测试结果计算出电阻率、霍尔系数、载流子浓度和霍尔迁移率。1. 低温探针台主机1.1 温度范围要求：10K-500K；1.2至少四个直流探针臂（预留光纤接口）；1.3样品环境真空度优于10-3Torr；2. 温控装置2.1温度稳定性：优于±100mK，小于100K时优于±50mK；2.2 配置温度传感单元与温度控制单元，可通过软件控温；3. 显微单元3.1 综合放大倍率不小于500倍；3.2 显微分辨率优于5μm；4. 磁场单元4.1磁场垂直方向，中心磁场最大±2.5T；4.2磁场均匀性：0.5%中心10mm直径球体，1%中心20mm直径球体；5. 水冷机5.1 名义制冷量：8KW @25℃ 5.2 控温方式：启停 5.3 冷却方式：压缩机制冷 5.4 控温精度：±1℃ 控温范围：5-35℃ 6. 分子泵6.1 前级泵（干式真空泵）：MVP 0156.2 前级泵抽速（50 HZ）：3m3/h6.3 分子泵组 极限真空度：< 1x10-7 hPa极端低温强磁电学测试系统需求为1台，质保期为12个月。